Produkty

Pevný karbid kremíka

VETEK Semiconductor Solid Carbid SILICON je dôležitou keramickou zložkou v zariadení na leptanie plazmy, pevný karbid kremíka (Karbid kremíka CVD) časti v leptaní patriazaostrovanie prsteňov, plynná sprchovacia hlava, podnos, okrajové krúžky atď. V dôsledku nízkej reaktivity a vodivosti tuhého karbidu kremíka (karbid kremíka CVD) na leptacie plyny obsahujúce chlór - a fluór, je ideálnym materiálom pre zaostrené krúžky a iné komponenty fluóru.


Napríklad zaostrovací prsteň je dôležitou súčasťou umiestnenou mimo oblátky a v priamom kontakte s oblátkou, a to, že na kruh použije napätie na zaostrenie plazmy, ktorá prechádza krúžkom, a tým zameriava plazmu na oblátku, aby sa zlepšila rovnomernosť spracovania. Tradičný zaostrený prsteň je vyrobený zo kremíka aleboštrbina, vodivý kremík ako spoločný zaostrený kruhový materiál, je takmer blízko vodivosti kremíkových doštičiek, ale nedostatkom je zlý odolnosť voči leptaniu v plazme obsahujúcom fluór, materiály na leptanie strojov, ktoré sa často používajú na určitú dobu, bude existovať vážny fenomén korózie, ktorý vážne znižuje jeho účinnosť výroby.


SOlid SIC Focus RingPracovný princíp

Working Principle of Solid SiC Focus Ring


Porovnanie kruhu zaostrenia založeného na SI a kruhu zaostrenia CVD SIC :

Porovnanie kruhu zaostrenia zaostrenia za založené na SI a kruhu zaostrovací
Položka A CVD SIC
Hustota (g/cm3) 2.33 3.21
Pásová medzera (EV) 1.12 2.3
Tepelná vodivosť (w/cm ℃) 1.5 5
CTE (x10-6/℃) 2.6 4
Elastický modul (GPA) 150 440
Tvrdosť (GPA) 11.4 24.5
Odolnosť voči opotrebovaniu a korózii Úbohý Vynikajúci


Vetek Semiconductor ponúka pokročilé tuhé kremíkové karbid (karbid kremíka CVD), ako je SIC zaostrovacie krúžky pre polovodičové vybavenie. Náš tuhý kremíkový karbid zaostrený kruhovými krúžkami prevyšuje tradičný kremík z hľadiska mechanickej pevnosti, chemickej rezistencie, tepelnej vodivosti, trvanlivosti vysokej teploty a odolnosti proti leptaniu iónov.


Kľúčové funkcie našich prsteňov zaostrovania SIC zahŕňajú:

Vysoká hustota pre znížené rýchlosti leptania.

Vynikajúca izolácia s vysokým pásmom.

Vysoká tepelná vodivosť a nízky koeficient tepelnej expanzie.

Vynikajúci mechanický odolnosť proti nárazu a elasticita.

Vysoká tvrdosť, odolnosť proti opotrebeniu a odolnosť proti korózii.

Vyrobené pomocouukladanie chemickej pary so zvýšenou plazmou (PECVD)Techniky, naše SIC zaostrenie prsteňov spĺňajú rastúce požiadavky na leptanie procesov vo výrobe polovodičov. Sú navrhnuté tak, aby odolali vyššej plazmovej sile a energii, konkrétne vkapacitne spojená plazma (CCP)systémy.

Vo výrobe polovodičových zariadení poskytujú výnimočný výkon a spoľahlivosť vo výrobe polovodičových zariadení výnimočný výkon a spoľahlivosť spoločnosti Vetek Semiconductor. Vyberte naše komponenty SIC pre vynikajúcu kvalitu a efektívnosť.


View as  
 
Masívna plynová sprchová hlavica SiC

Masívna plynová sprchová hlavica SiC

Masívna plynová sprchová hlavica SiC hrá hlavnú úlohu pri zjednocovaní plynu v procese CVD, čím sa zabezpečuje rovnomerné zahrievanie substrátu. VeTek Semiconductor je už mnoho rokov hlboko zapojený do oblasti pevných SiC zariadení a je schopný poskytnúť zákazníkom prispôsobené plynové sprchové hlavice Solid SiC. Bez ohľadu na to, aké sú vaše požiadavky, tešíme sa na váš dopyt.
Chemický proces ukladania pary tuhý kruh na okraji SIC

Chemický proces ukladania pary tuhý kruh na okraji SIC

Vetek Semiconductor sa vždy zaviazal k výskumu a vývoju a výrobe pokročilých polovodičových materiálov. Dnes spoločnosť Vetek Semiconductor dosiahla veľký pokrok v procese ukladania chemického depozície pary Solid SIC Edge Ring Products a je schopný zákazníkom poskytovať vysoko prispôsobené pevné krúžky SIC Edge. Pevné krúžky na okraji SIC poskytujú lepšiu uniformitu leptania a presné polohovanie oblátok, keď sa používajú s elektrostatickým skľučením, čo zabezpečuje konzistentné a spoľahlivé výsledky leptania. Tešíme sa na váš dopyt a stanete sa vzájomným dlhodobým partnerom.
Pevné sic leptanie zaostrovací prsteň

Pevné sic leptanie zaostrovací prsteň

Kruh zaostrenia solídneho leptania SIC je jednou z hlavných komponentov procesu leptania oblátok, ktorý hrá úlohu pri fixácii oblátky, zaostrovaní plazmy a zlepšovaní uniformity leptania doštičiek. Ako popredný výrobca zaostrovacích prsteňov SIC v Číne má spoločnosť Vetek Semiconductor pokročilý technologický a zrelý proces a vyrába solídne leptanie SIC zaostrenie kruhu, ktorý plne uspokojuje potreby koncových zákazníkov podľa požiadaviek zákazníka. Tešíme sa na vašu otázku a staneme sa vzájomným dlhodobým partnerom.

Veteksemicon solid silicon carbide is the ideal procurement material for high-temperature, high-strength, and corrosion-resistant components used in semiconductor and industrial applications. As a fully dense, monolithic ceramic, solid silicon carbide (SiC) offers unmatched mechanical rigidity, extreme thermal conductivity, and exceptional chemical durability in harsh processing environments. Veteksemicon’s solid SiC is specifically developed for critical structural applications such as SiC wafer carriers, cantilever paddles, susceptors, and showerheads in semiconductor equipment.


Manufactured through pressureless sintering or reaction bonding, our solid silicon carbide parts exhibit excellent wear resistance and thermal shock performance, even at temperatures above 1600°C. These properties make solid SiC the preferred material for CVD/PECVD systems, diffusion furnaces, and oxidation furnaces, where long-term thermal stability and purity are essential.


Veteksemicon also offers custom-machined SiC parts, enabling tight dimensional tolerances, high surface quality, and application-specific geometries. Additionally, solid SiC is non-reactive in both oxidizing and reducing atmospheres, enhancing its suitability for plasma, vacuum, and corrosive gas environments.


To explore our full range of solid silicon carbide components and discuss your project specifications, please visit the Veteksemicon product detail page or contact us for technical support and quotations.


Ako profesionál Pevný karbid kremíka výrobca a dodávateľ v Číne máme vlastnú továreň. Či už potrebujete prispôsobené služby, ktoré vyhovujú konkrétnym potrebám vášho regiónu alebo chcete kúpiť pokročilé a odolné Pevný karbid kremíka v Číne, môžete nám nechať správu.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept