Pevná sprchová hlava v tvare SIC

Úlohou sprchovej hlavy v tvare SIC v tvare SIC v procese CVD je rovnomerne rozdeliť reakčný plyn nad depozičnú oblasť, aby sa plyn mohol rovnomerne rozptýliť v celom reaktore, aby sa získal plochý a jednotný film.

Pevná sprchová hlava SIC je umiestnená v hornej časti CVD pece alebo v blízkosti vstupu plynu. Reakčný plyn vstupuje do konštrukcie v tvare disku cez otvory rozložené na sprchovej hlave a difúzne okolo povrchu sprchovej hlavy. Prostredníctvom konštrukcie viacerých kanálov a rovnomerne rozložených zásuviek môže reakčný plyn rovnomerne prúdiť do celej oblasti reaktora, vyhnúť sa koncentrácii alebo turbulenciám a zabezpečiť konzistenciu hrúbky vrstvy uloženej na substráte.

Zároveň má štruktúra sprchovej hlavy v tvare polovodiča tiež difúzny efekt, ktorý môže účinne znížiť prietok plynu, takže sa môže rovnomerne rozptýliť pri výstupe z dýzy a znížiť vplyv zmien miestneho prietoku plynu na depozičný účinok. Pomáha vyhnúť sa priamym vplyvom plynu na substrát a zabrániť problému nerovnomerného ukladania.

Z hľadiska materiálov je pevná sprchovacia hlava SIC vyrobená z vysokoteplotných odolných, odolných voči korózii a vysokej pevnej pevnej SIC materiálu s veľmi vysokou stabilitou. V peci CVD môže pracovať stabilne a má dlhú životnosť.

Vetek Semiconductor poskytuje vysoko kvalitné prispôsobené služby. Usporiadanie tvaru a otvoru sprchovej hlavy v tvare SIC môže byť flexibilne upravené podľa požiadaviek procesu zákazníka tak, aby sa prispôsobili rôznym typom plynu, prietokom a depozičným materiálom. V prípade rôznych veľkostí reaktorov alebo veľkostí substrátov je možné prispôsobiť sprchové hlavy v tvare diskov s rôznymi priemermi a distribúciami otvorov na optimalizáciu účinku distribúcie plynu.

Vetek Semiconductor má zrelé procesy a pokročilé technológie pre produkty Solid SIC polovodičové sprchové hlavy, čo pomáha veľkému počtu zákazníkov dosiahnuť nepretržitý pokrok v procesoch CVD. Vetek Semiconductor sa teší na to, že sa stanete vaším dlhodobým partnerom v Číne.

Fyzikálne vlastnosti pevného SIC

Je to polovodičSolid SIC disk v tvare sprchy v tvare sprchy