CVD SIC potiahnutá grafitová sprchová hlava

Graphitová sprchovacia hlava potiahnutá Vetemicon CVD SIC, jej povrch s presnosťou zabezpečuje rovnomerné rozdelenie plynu, čo je rozhodujúce pre dosiahnutie konzistentného depozície filmu naprieč doštičkami. TenNáter SICNielenže zvyšuje odolnosť proti opotrebeniu a oxidačnú odolnosť, ale tiež predlžuje životnosť v tvrdých podmienkach procesu.

Všeobecne sa uplatňuje pri výrobe oblátkov v polovodičoch, epitaxii a ukladaní tenkých filmov, grafická sprchovacia hlava potiahnutá CVD SIC je ideálnou voľbou pre výrobcov, ktorí hľadajú spoľahlivé, vysokokvalitné a dlhotrvajúce komponenty procesu, ktoré spĺňajú požiadavky na výrobu polosrdích novej generácie.

Sprchová sprchovacia hlava Veteksemi CVD kremíka sa vyrába z karbidu kremíkového kremíka s vysokou čistotou a je optimalizovaná pre procesy CVD a MOCVD v priemysle polovodičov, LED a pokročilého elektronického priemyslu. Jeho vynikajúca tepelná stabilita, odolnosť proti korózii a rovnomerné rozdelenie plynu zabezpečujú dlhodobú stabilnú prevádzku vo vysokoteplotných, vysoko korozívnych prostrediach, čo výrazne zlepšuje opakovateľnosť a výťažok procesu.

Veteksemicon CVD SIC potiahnutý grafitový sprchovací kút jadro Výhody

● Ultra vysoká čistota a hustota

Sprchovacia hlava potiahnutá CVD SIC sa vyrába pomocou vysokoškolského procesu CVD, čím zabezpečuje čistotu materiálu ≥ 99,995%, čo eliminuje akékoľvek kovové nečistoty. Jeho zložitá štruktúra účinne zabraňuje prenikaniu plynu a uvoľňovaniu častíc, vďaka čomu je ideálna pre polovodičovú epitaxiu a pokročilé procesy balenia, ktoré si vyžadujú extrémne vysokú čistotu. V porovnaní s tradičnými spekanými zložkami SIC alebo grafitu si náš produkt udržuje stabilný výkon aj po dlhodobej vysokej teplote prevádzky, čím sa znižuje frekvencia údržby a výrobné náklady.

● Vynikajúca tepelná stabilita

V procesoch CVD a MOCVD s vysokou teplotou sú konvenčné materiály citlivé na deformáciu alebo krakovanie v dôsledku tepelného napätia. Sprchovacia hlava CVD SIC vydrží teploty do 1600 ° C a má extrémne nízky koeficient tepelnej expanzie, čím zabezpečuje štrukturálnu stabilitu počas rýchleho zvýšenia teploty a znižovania. Jeho jednotná tepelná vodivosť ďalej optimalizuje rozdelenie teploty v reakčnej komore, minimalizuje rozdiely rýchlosti depozície medzi okrajmi a stredom oblátky a zlepšuje jednotnosť filmu.

● Anti-plazma

Počas leptania alebo depozičných procesov, vysoko korozívne plyny (napríklad porovnaj₄, Cl₂a HBR) rýchlo erodujú konvenčné kremenné alebo grafitové komponenty. Materiál CVD SIC vykazuje výnimočnú odolnosť proti korózii v plazmovom prostredí, so životnosťou 3-5-násobkom konvenčných materiálov. Skutočné testovanie zákazníkov ukázalo, že aj po 2000 hodinách nepretržitej prevádzky zostáva zmena veľkosti pórov v rozmedzí ± 1%, čo zabezpečuje dlhodobé rozdelenie prietoku plynu.

● Dlhá životnosť a nízke náklady na údržbu

Zatiaľ čo tradičné grafitové komponenty vyžadujú častú výmenu, sprchová hlava CVD s potiahnutou sic si udržuje stabilný výkon aj v drsnom prostredí. To znižuje celkové náklady o viac ako 40%. Okrem toho vysoká mechanická pevnosť materiálu zabraňuje náhodnému poškodeniu počas manipulácie alebo inštalácie.

● Potvrdenie overovania ekologického reťazca

Veteksemicon CVD Silikon Carbide Showerhead 'Overenie ekologického reťazca pokrýva výrobu surovín, schválila certifikáciu medzinárodného štandardu a má množstvo patentovaných technológií na zabezpečenie jej spoľahlivosti a udržateľnosti v polovodičových a nových energetických oblastiach.

Technické parametre

Projekt	Parameter
Materiál	CVD SIC (dostupné možnosti potiahnutia)
Rozsah priemeru	100 mm-450 mm (prispôsobiteľné)
Tolerancia hrúbky	± 0,05 mm
Drsnosť	≤0,2 μm
Uplatniteľný proces	CVD/MOCVD/PECVD/leptanie/epitaxia

Polia hlavnej aplikácie

Smerovanie	Typický scenár
Výroba polovodičov	Kremíková epitaxia, zariadenia GAN/GAAS
Elektronika	Výroba epitaxnej oblátky SIC
Vedený	Ukladanie substrátu MOCVD
Vedecký výskum	Vysoko presný systém depozície tenkého filmu

Potvrdenie overovania ekologického reťazca

Veteksemicon CVD Silikon Carbide Showerhead 'Overenie ekologického reťazca pokrýva výrobu surovín, schválila certifikáciu medzinárodného štandardu a má množstvo patentovaných technológií na zabezpečenie jej spoľahlivosti a udržateľnosti v polovodičových a nových energetických oblastiach.

Podrobné technické špecifikácie, biele príspevky alebo dohody o testovaní vzoriek, prosímKontaktujte náš tím technickej podporyPreskúmať, ako môže VeteKemicon zvýšiť efektívnosť procesu.