Quartz Bell Jar polovodičovej kvality

Kvalová nádoba z polovodičového stupňa je vyrobená z kremenného materiálu s vysokou čistotou. Má vynikajúcu tepelnú stabilitu a silnú odolnosť proti korózii a používa sa v mnohých oblastiach. V polovodičovom priemysle: Kvalové zvončeky z polovodičového stupňa poskytuje kontrolované prostredie pre ukladanie tenkého filmu na doštičkách počas ukladania chemickej pary (CVD). Kvalové zvončeky z polovodičového stupňa sa používajú aj v procesoch, ktoré vyžadujú vákuovú technológiu, ako je výroba optických povlakov, kovových povlakov a iných druhov tenkých filmových materiálov. Kvatorizový jar z polovodičového stupňa je tiež potrebný v mnohých experimentoch fyzickej a materiálovej vedy, ktoré si vyžadujú vysoké čistotné a vákuové utesnené prostredie.

Scenáre použitia v polovodičovom priemysle:

Polysilikón je kremíkový materiál zložený z mnohých malých zŕn, ktorý je široko používaný v integrovaných obvodoch, solárnych článkoch a iných oblastiach. Chemická depozícia z plynnej fázy (CVD) je jednou z hlavných metód prípravy polykryštalického kremíka. Základným princípom je, že plynný zdroj kremíka, ako je SiH4, sa rozkladá pri vysokej teplote a ukladá sa na substrát za vzniku polykryštalického kremíka：

SiHCl3 + H2 ⇒ Si + 3HCl

Za podmienok vysokej teploty a vákua bol kremíkový zdrojový plyn privádzaný do chemického nanášania pár. Nakoniec sa získa polykryštalický kremík. Polovodičový kremenný zvonový pohár je dôležitou súčasťou polykryštalického kremíka CVD reaktora.

Polykryštalický kremíkový CVD reaktor

Pri vysokej teplote reakcie CVD môže kremenný zvončekový zvončekový jar stupňa poskytnúť rovnomerné tepelné prostredie. Vysoká teplota odporu kremenného materiálu s vysokou čistotou (vydrží teploty až do 1100 ° C) umožňuje jej stabilne pracovať pri reakciách CVD a zabezpečiť rovnomerné rozdelenie teploty v reakčnej oblasti. V procese CVD existuje veľa toxických komponentov plynu, ako je PH3 atď. Kremenný jar polovodiča môže účinne izolovať chemické plyny v reakčnej komore z vonkajšieho prostredia, aby sa zabránilo škodlivému úniku plynu. Odolnosť korózie kremenného materiálu s vysokou čistotou tiež umožňuje, aby iné materiály stabilne pracovali po dlhú dobu počas procesu CVD a nie je ľahko korodované alebo poškodené.

Kretazový zvonček sa používa v spojení s kremennou tepelnou trubicou a zvislou člnom kremeňa a väčšinou sa používa v epitaxiálnom procese výroby sieťových obvodových čipov polovodičov. Epitaxiálna peca vo všeobecnosti prijíma vertikálnu štruktúru, s kremenným zvonicovým nádobou na vonkajšej strane vertikálnej kremennej lode a kremennou tepelnou trubicou na konzerváciu ako oporu.

Ďalšia typická aplikácia kremenného zvonového pohára polovodičovej kvality v prostredí s vysokou teplotou: Na zahriatie dávky ortodontických častí na 704 °C v priebehu 1 sekundy v inertnej atmosfére na spájkovanie:

Vetek Semiconductor má zrelý technický tím. Bez ohľadu na to, aký tvar alebo materiál z kremennej nádoby s vysokou čistotou potrebujete, môžeme ho prispôsobiť vám.

Obchody s produktmi Vetic Semiconductor: