Zaostrovací prsteň na leptanie

Monokryštalické kremíkové leptacie prstene sú základnými komponentmi v procesoch leptania polovodičov udržiavaním stability prostredia plazmového prostredia, chránením zariadení a doštičiek, optimalizáciou využívania zdrojov a prispôsobením sa pokročilým požiadavkám na proces. Jeho výkon priamo ovplyvňuje výnos a náklady na výrobu čipov.

Vyleptaný zaostrovací krúžok, elektróda atď. (Regulátor teploty okrajov) sú jadrové spotrebné materiály, aby sa zabezpečila rovnomernosť plazmy, regulácia teploty a opakovateľnosť procesu. Tieto komponenty sú presne zostavené vo vákuovej komore CVD, leptania a filmového vybavenia a priamo určujú presnosť a výťažok leptania z okraja do stredu oblátky.

V reakcii na prísny dopyt po materiálových vlastnostiach vo špičkových výrobných procesoch spoločnosť Veteksemi inovuje pomocou vysokokryzisového monokryštalického kremíka s odporom 10-20Ω · cm na výrobu zaostrovacích krúžkov a podpory spotrebného materiálu. Prostredníctvom optimalizácie kolaboratívnej vedy o materiáloch, elektrického dizajnu a termodynamiky je Veteksemi schopný vyrábať zaostrenie prsteňov a podporu spotrebného materiálu. Komplexne prekonáva tradičné riešenia kremeňa, aby sa dosiahlo prielomové zlepšenie v dlhovekosti, presnosti a efektívnosti nákladov.

Porovnanie základných materiálov a optimalizácia odporu

Monokryštalický kremík Vs. Štrbina

Produktové jadro Advantage

1. Presnosť procesu atómovej úrovne

Optimalizácia odporu + leštenie ultra presnosti (RA <0,1 μm) eliminuje mikro-disklanciu a kontamináciu častíc, aby sa splnilo štandardy Semi F47.

Dielektrická strata (TanA <0,001) sa vysoko zhoduje s dielektrickým prostredím oblátkov, predchádzanie skresleniu elektrického poľa elektrického poľa a podporujúce 3D NAND 89,5 ° ± 0,3 ° Vertikálne leptanie hlbokých otvorov.

2. Kompatibilita inteligentného systému

Integrovaný s regulačným modulom teploty ETC ETC, prietok chladiaceho vzduchu je dynamicky nastavený algoritmom termočlánku a AI, aby sa kompenzoval tepelný drift v komore.

Podpora prispôsobená RF zodpovedajúca sieť, vhodná pre bežné stroje, ako sú zdroje plazmy Amat Centura, LAM Research Kiyo a ICP/CCP.

3. Komplexná nákladová efektívnosť

Životnosť monokryštalického kremíka je o 275% dlhší ako v kremeňa, cyklus údržby je viac ako 3 000 hodín a komplexné náklady na vlastníctvo (TCO) sa znížia o 30%.

Služba prispôsobenia gradientu (5-100Ω · cm), ktorá presne zodpovedá okeniu zákazníckeho procesu (napríklad leptanie materiálu GAN/SIC širokého pásma).

Účinok odporu

Výrobné obchodné pojmy

Minimálne množstvo objednávky	1 sada
Cena	Kontakt pre prispôsobenú ponuku
Balenie	Štandardný vývozný balík
Doba dodania	Čas dodania: 30-35 dní po potvrdení objednávky
Platobné podmienky	T/t
Zásobovanie	600 sád/mesiac