Doštičky z nitridu hliníka (AlN).

1. Kľúčové vlastnosti a výhody

• Ultra-široký bandgap ≈ 6,2 eV – najvyšší medzi bežnými polovodičovými materiálmi

• Vysoká tepelná vodivosť ≈ 320 W/m·K pre efektívny odvod tepla

• Vynikajúca elektrická izolácia (>10¹³ Ω·cm) a vysoké prierazové pole (12–15 MV/cm)

• Dobrá zhoda mriežky a tepelnej expanzie s GaN – ideálne pre heteroštruktúry GaN-on-AlN

• Možnosti nízkej hustoty dislokácií s prísnym ovládaním HR-XRD hojdacej krivky

• Al-face CMP (Ra ≤ 0,5 nm) a N-face MP pre epi-ready povrchy

• Viaceré veľkosti a stupne kvality (P / R / D), aby zodpovedali požiadavkám výroby a výskumu

2. Typické aplikácie

• Vysokovýkonné RF zariadenia pre radarovú a 6G komunikáciu

• Vysokonapäťová výkonová elektronika pre rozvodnú sieť, dátové centrá a elektrické vozidlá

• Hlboké ultrafialové (UVC) LED a laserové diódy

• GaN-on-AlN epitaxný rast a pokročilé heteroštruktúrne zariadenia

• Vysokoteplotné, vysokofrekvenčné a drsné polovodičové komponenty

3. Dostupné veľkosti a stupne kvality

VeTek ponúka doštičky AlN v nasledujúcich štandardných formátoch. Vlastné veľkosti a špecifikácie je možné prediskutovať na požiadanie.

• Štvorcové substráty 10 × 10 mm

• 1-palcový (25,4 mm) doštičky

• 2-palcové (50,8 mm) doštičky

Stupne kvality: P-grade (Product), R-grade (Research), D-grade (Experimental), odlíšené hlavne HR-XRD kývavou krivkou FWHM a celkovou kvalitou krištáľu.

4. Kľúčové technické špecifikácie

Spoločné parametre vo veľkostiach (typické hodnoty; v závislosti od stupňa, ak je to uvedené):

Geometrické tolerancie špecifické pre veľkosť:

• 10×10 mm: Dĺžka strany 10 mm ± 0,5 mm; TTV ≤ 15 μm; Oblúk ≤ 15 μm

• 1-palcový: Priemer 25,4 mm ± 0,5 mm; Úžitková plocha ≥ 90 %; TTV ≤ 20 μm; Úklon ≤ 20 μm; Primárny plochý (10-10) ± 5°, dĺžka 8 mm ± 1 mm

• 2-palcové: Priemer 50,8 mm ± 0,5 mm; Úžitková plocha ≥ 90 %; TTV ≤ 30 μm; Úklon ≤ 30 μm; Primárna plochá dĺžka 16 mm ± 2 mm

5. Prečo si vybrať doštičky VeTek AlN?

Ako špecializovaný dodávateľ pokročilých polovodičových materiálov a komponentov, VeTek Semiconductor poskytuje:

• Vysokokvalitné monokryštálové doštičky AlN s kontrolovanou kvalitou kryštálov a povrchmi pripravenými na epiláciu

• Viacero možností veľkosti a kvality na podporu výroby zariadení a výskumných programov

• Doplnkové riešenia doštičiek a substrátov v rámci portfólia polovodičových materiálov VeTek

• Technická podpora pri výbere materiálu a prispôsobovaní procesov

Naše AlN doštičky pomáhajú zákazníkom urýchliť vývoj vysokovýkonných RF, vysokonapäťových a hlboko UV optoelektronických zariadení, ktoré vyžadujú jedinečnú kombináciu ultra širokého pásma, vysokej tepelnej vodivosti a kompatibility GaN, ktorú ponúka nitrid hliníka.