Ohrievač VEECO MOCVD

Veeco MOCVD ohrievač Veeco je vyrobený z grafitového materiálu s vysokou čistotou s obsahom nečistôt prísne kontrolovaného pod 5 ppm a potiahnutý ultra vysokým karbidom kremíka (SIC) s čistotou viac ako 99,9995%proces chemickej depozície z pár (CVD).. Táto kombinácia materiálov dáva ohrievača sériu kľúčových vlastností, ktoré zabezpečujú jeho vynikajúci výkon vkovové organické chemické vylučovanie z plynnej fázy (MOCVD)proces.

Jednou z vynikajúcich vlastností ohrievača VEECO MOCVD je jeho mimoriadna chemická čistota. Grafitové jadro s vysokou čistotou výrazne znižuje potenciálne zanesenie kontaminantov do procesu pri vysokej teplote a zaisťuje proces ultračistého nanášania filmu. TheCVD SIC povlakPoskytuje ďalšiu ochranu ohrievača a vytvára silnú bariéru na zabránenie chemickým reakciám, ktoré môžu poškodiť kvalitu filmu. Táto bezkonkurenčná čistota je nevyhnutná pre výrobu vysokovýkonných a spoľahlivých polovodičových zariadení.

Súčasne ohrievač vykazuje extrémne vysokú tepelnú stabilitu a účinnosť. SiC má vysoký bod topenia a vynikajúcu tepelnú vodivosť, čo umožňuje ohrievaču efektívne riadiť a viesť teplo. To zaisťuje rovnomerné zahrievanie naprieč substrátom, čo zase pomáha dosiahnuť rovnomerné ukladanie filmu a znižuje chyby spôsobené teplotnými gradientmi. Takáto tepelná účinnosť je obzvlášť dôležitá pre presnú výrobu.

Ohrievač MOCVD VEECO tiež vyniká pri elektrickom výkone. Jeho vysokokvalitné grafitové jadro má vynikajúcu elektrickú vodivosť, čo umožňuje ohrievača zvládnuť vysoké požiadavky na elektrické zaťaženie. Tento stabilný elektrický výkon umožňuje ohrievača udržiavať presnú kontrolu teploty a rýchlosť ukladania za podmienok vysokého zaťaženia, čo je rozhodujúce pre zabezpečenie konzistentných podmienok procesu a zlepšenie účinnosti výroby polovodičov.

Dizajn povrchu ohrievača bol starostlivo optimalizovaný tak, aby mal vysokú emisivitu substrátu, čo významne zlepšuje účinnosť prenosu žiarenia tepla. Schopnosť rovnomerne zahriať je kľúčovým faktorom pri zabezpečovaní konzistentnej hrúbky a charakteristík ukladania filmu. Dizajn povrchu s vysokou emisivitou tiež zlepšuje celkovú tepelnú účinnosť ohrievača, čím sa znižuje spotreba energie a znižuje prevádzkové náklady.

Pokiaľ ide o životnosť, ohrievač VEECO MOCVD spoločnosti VeTeksemi vykazuje vynikajúcu odolnosť proti korózii, odolnosť proti oxidácii a mechanickú pevnosť. CVD SiC povlak poskytuje pevnú bariéru voči korozívnym plynom a chemikáliám bežným v procesoch MOCVD, čím predlžuje životnosť zariadenia a znižuje potrebu údržby a nákladov na výmenu. Jeho odolnosť voči oxidácii zaisťuje, že ohrievač zostáva stabilný pri vysokých teplotách bez zhoršenia výkonu, čím je zaistená dlhodobá stabilita.

Okrem toho vysoká mechanická pevnosť MOCVD ohrievača Veteksemi mu umožňuje vydržať fyzické napätia generované počas tepelného cyklovania a manipulácie s substrátom. Jeho robustnosť znižuje riziko mechanického zlyhania a zaisťuje spoľahlivú prevádzku zariadenia za tvrdých podmienok procesu.

Ako pokročilý výrobca a dodávateľ vykurovacích produktov VEECO MOCVD poskytuje VeTeksemi aj rôzne vysokokvalitné vykurovacie produkty ako napr.Ohrievač povlaku TaC, keramický povlak z karbidu kremíka grafitový ohrievač, ohrievač s keramickým povlakom z karbidu kremíka, atď. VeTek Semiconductor sa zaviazal poskytovať pokročilé a prispôsobiteľné technológie a riešenia produktov pre polovodičový priemysel. Úprimne dúfame, že budeme vaším dlhodobým partnerom v Číne.