Ohrievač TAC

Ohrievač TAC je vysokovýkonný vykurovací prvok, ktorý sa bežne používa v procesoch výroby polovodičov. Jeho povrch je potiahnutý materiálom karbidu tantalu (TAC), ktorý dáva ohrievača vynikajúcu vysokú teplotu odporu, chemickú odolnosť proti korózii a vynikajúcu tepelnú vodivosť.

Hlavné aplikácie TaC Coating Heater vo výrobe polovodičov zahŕňajú:

 ✔ Počas procesu epitaxného rastu nitridu gália (GaN) poskytuje ohrievač povlaku TaC presne kontrolované prostredie s vysokou teplotou, aby sa zabezpečilo, že epitaxiálna vrstva sa na substrát nanáša rovnomernou rýchlosťou a vysokou kvalitou. Jeho stabilný tepelný výkon pomáha dosiahnuť presnú kontrolu tenkovrstvových materiálov, čím zlepšuje výkon zariadenia.

 ✔ Navyše, v procese kovovej organickej chemickej depozície z plynnej fázy (MOCVD) v kombinácii s odolnosťou voči vysokej teplote a tepelnou vodivosťou povlaku TaC sa ohrievač povlaku TaC zvyčajne používa na ohrev reakčného plynu a tým, že zabezpečuje rovnomernú distribúciu tepla, podporuje jeho chemickú reakciu na povrchu substrátu, čím zlepšuje rovnomernosť epitaxnej vrstvy a vytvára vysokokvalitný film.

 ✔ Spoločnosť VeTek Semiconducto, ako líder v odvetví produktov TaC Coating Heater, vždy podporuje služby prispôsobenia produktov a uspokojivé ceny produktov. Bez ohľadu na to, aké sú vaše špecifické požiadavky, prispôsobíme vám najlepšie riešenie pre vaše potreby ohrievača povlaku TaC a tešíme sa na vašu konzultáciu kedykoľvek.