TAC potiahnutý trojpárovým krúžkom

VeTek Semiconductor je profesionálny čínsky výrobca a dodávateľ krúžku s tromi okvetnými lístkami s povlakom TaC. Prsteň s tromi okvetnými lístkami s povlakom TaC sa používa v systéme Aixtron G10-deposition pre zložený polovodič, G10-GaN 150/200 mm vysokovýkonná epitaxia pre napájanie GaN a RF aplikácie.

Poter TAC TAC Vetek je nová generácia materiálu odolného voči vysokej teplote, s lepšou stabilitou s vysokou teplotou ako SIC, ako povlak odolný voči korózii, oxidačný povlak, povlaky odolné voči opotrebeniu sa môže použiť Aerospace s ultra vysokou teplotou horúcich častí, tretej generácie rastu jednorazového kryštálu polovodiča a ďalších polí.

Vlastnosti produktu:

1. Vysoká čistota, obsah nečistôt < 5ppm

2. Vysoká teplotná odolnosť, odolnosť proti korózii, vysoká hustota, vysoká hustota

3. Pri vysokej teplote je chemicky inertný na amoniak, vodík, silán a kremík a má dobrú tepelnú stabilitu.

4. Odolnosť voči tepelnému nárazu, môže urýchliť prevádzkový cyklus

5. Silná grafitová adhézia zaisťuje dlhú životnosť a bez povlaku.

6. Prísne rozmerové tolerancie.

Hlavné aplikácie:

1. Epitaxiálny rast

2. Rast monokryštálov

3. Vysoko teplotná korózia

4. Tryska odolná voči vysokej teplote a oxidácii

5. Lopatky plynovej turbíny

Parameter produktu potiahnutého TAC potiahnutý trojpubným krúžkom

Porovnajte výrobu polovodičov ：