Povlak z karbidu kremíka

Vetechemicon's CVD SIC potiahnutý doštičkový spadajúci je špičkové riešenie pre polovodičové epitaxiálne procesy, ktoré ponúka ultra vysokú čistotu (≤100pppb, certifikát ICP-E10) a výnimočné tepelné/chemické stability pre kontamináciu-kontamináciu GAN, SIC a SICICON-LAYERS. Vykonané s presnou technológiou CVD, podporuje 6 ”/8”/12 ”doštičky, zaisťuje minimálne tepelné napätie a odoláva extrémnym teplotám do 1600 ° C.

Náš planétový Spiceptor potiahnutý SIC je základnou súčasťou procesu vysokej teploty výroby polovodičov. Jeho dizajn kombinuje grafitový substrát s povlakom karbidu kremíka, aby sa dosiahla komplexná optimalizácia výkonu tepelného manažmentu, chemickej stability a mechanickej pevnosti.

Náš tesniaci kruh potiahnutý SIC pre epitaxiu je vysokovýkonná tesniaca zložka založená na grafitských alebo uhlíkových uhlíkových kompozitoch potiahnutých vysokokvalitným kremíkovým karbidom (SIC) chemickou depozíciou pár (CVD), ktorá kombinuje tepelnú stabilitu grafitu s extrémnym prostredím prostredia s extrémnym prostredím a je navrhnutá pre semifinátorové epitaxiálne vybavenie (E.g., MocV., MocV.

Grafitový lesk na grafický epion Vetemicon Single Wafer je navrhnutý pre vysokoúčinný karbid kremíka (SIC), nitrid gallium (GAN) a ďalší polovodičový proces tretej generácie a je hlavnou súčasťou ložiskovej zložky vysoko presnej epitaxiálnej výroby.

Dôležitou zložkou používanou pri procese leptania výroby doštičiek je zaostrenie leptania plazmy, ktorého funkciou je držať oblátku na mieste, aby sa udržala hustota plazmy a zabránila kontaminácii strany oblák.

Vetek Semiconductor je popredným výrobcom a dodávateľom e-skrutov potiahnutých SIC v Číne. E-Chuck potiahnutý SIC je špeciálne navrhnutý pre proces leptania oblátkov GAN s vynikajúcim výkonom a dlhou životnosťou, aby poskytoval všestrannú podporu vašej výrobe polovodičov. Naša silná schopnosť spracovania nám umožňuje poskytnúť vám SIC keramický spiceptor, ktorý chcete. Tešíme sa na vašu otázku.