Produkty

Povlak z karbidu kremíka

VeTek Semiconductor sa špecializuje na výrobu ultračistých produktov s povlakom z karbidu kremíka, tieto povlaky sú určené na aplikáciu na čistený grafit, keramiku a žiaruvzdorné kovové komponenty.


Naše vysoko čisté nátery sú primárne určené na použitie v polovodičovom a elektronickom priemysle. Slúžia ako ochranná vrstva pre doštičkové nosiče, susceptory a vyhrievacie prvky a chránia ich pred korozívnym a reaktívnym prostredím, ktoré sa vyskytuje v procesoch ako MOCVD a EPI. Tieto procesy sú neoddeliteľnou súčasťou spracovania plátkov a výroby zariadení. Okrem toho sú naše nátery vhodné pre aplikácie vo vákuových peciach a ohrev vzoriek, kde sa stretávame s vysokým vákuom, reaktívnym a kyslíkovým prostredím.


Vo VeTek Semiconductor ponúkame komplexné riešenie s našimi pokročilými možnosťami strojárskej dielne. To nám umožňuje vyrábať základné komponenty s použitím grafitu, keramiky alebo žiaruvzdorných kovov a nanášať keramické povlaky SiC alebo TaC vo vlastnej réžii. Poskytujeme tiež lakovacie služby pre diely dodané zákazníkom, čím zaisťujeme flexibilitu pri splnení rôznych potrieb.


Naše produkty s povlakom z karbidu kremíka sa široko používajú v epitaxii Si, epitaxii SiC, systéme MOCVD, procese RTP / RTA, procese leptania, procese leptania ICP / PSS, procese rôznych typov LED vrátane modrej a zelenej LED, UV LED a hlbokého UV LED atď., Ktoré sú prispôsobené zariadeniam od LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI atď.


Časti reaktora, ktoré vieme urobiť:


Aixtron G5 MOCVD Susceptors


Povlak z karbidu kremíka má niekoľko jedinečných výhod:

Silicon Carbide Coating several unique advantages



Parameter povlaku polovodičového karbidu kremíka VeTek

Základné fyzikálne vlastnosti CVD SiC povlaku
Nehnuteľnosť Typická hodnota
Kryštálová štruktúra FCC β fáza polykryštalická, hlavne (111) orientovaná
Hustota povlaku SiC 3,21 g/cm³
SiC povlak Tvrdosť Tvrdosť 2500 Vickers (záťaž 500g)
Veľkosť zrna 2 ~ 10 μm
Chemická čistota 99,99995 %
Tepelná kapacita 640 J·kg-1·K-1
Teplota sublimácie 2700 ℃
Pevnosť v ohybe 415 MPa RT 4-bod
Youngov modul Ohyb 430 Gpa 4pt, 1300 ℃
Tepelná vodivosť 300 W·m-1·K-1
Tepelná expanzia (CTE) 4,5×10-6K-1

CVD SIC FILM KRIŠTÁĽOVÁ ŠTRUKTÚRA

CVD SIC FILM CRYSTAL STRUCTURE



View as  
 
MOCVD epitaxiálne oblátky poskytujú

MOCVD epitaxiálne oblátky poskytujú

Spoločnosť Vetek Semiconductor sa už dlho zaoberá priemyslom polovodičového epitaxného rastu a má bohaté skúsenosti a spracovanie zručností v produktoch Smertor Epitaxial Wafer Srecestor MOCVD. Dnes sa Vetek Semiconductor stal popredným čínskym výrobcom a dodávateľom Susceptorov a dodávateľom oblátkov, ktoré poskytuje, zohrávali dôležitú úlohu pri výrobe epitaxiálnych doštičiek a iných výrobkov GAN.
Vertikálna pec SiC potiahnutý prstenec

Vertikálna pec SiC potiahnutý prstenec

Vertikálny prsteň potiahnutý pece SIC je komponent špeciálne navrhnutý pre vertikálnu pec. Vetek Semiconductor môže pre vás urobiť to najlepšie z hľadiska materiálov aj výrobných procesov. Ako popredný výrobca a dodávateľ vertikálneho kruhu potiahnutého voči pecám v Číne je Vetek Semiconductor presvedčený, že vám môžeme poskytnúť tie najlepšie výrobky a služby.
Epitaxiálny podnikateľ GAN

Epitaxiálny podnikateľ GAN

Ako popredný dodávateľ a výrobca epitaxného epitaxného spoznávania GAN v Číne je Vetek Semiconductor Gan Epitaxial Spicestor s vysokým presným spieňom určeným pre proces Epitaxiálneho rastu GAN, ktorý sa používa na podporu epitaxiálnych zariadení, ako sú CVD a MOCVD. Vo výrobe zariadení GAN (ako sú elektronické zariadenia, RF zariadenia, LED atď.), SPRESCTOR GAN nesie substrát a dosahuje vysoko kvalitné ukladanie tenkých filmov GAN v prostredí s vysokou teplotou. Vitajte svoj ďalší dopyt.
Nosič doštičiek potiahnutý SiC

Nosič doštičiek potiahnutý SiC

Ako popredný dodávateľ a výrobca nosiča oblátkov SIC v Číne je nosič oblátkov Vetek Semiconductor potiahnutý z vysokokvalitného grafitého a CVD SIC povlaku, ktorý má super stabilitu a môže dlho pracovať vo väčšine epitaxiálnych reaktorov. Vetek Semiconductor má špičkové schopnosti spracovania a môže spĺňať rôzne požiadavky prispôsobených zákazníkom pre nosiče oblátok potiahnutých SIC. Vetek Semiconductor sa teší na nadviazanie dlhodobého kooperatívneho vzťahu s vami a spolu rastie.
SIC Graphit MOCVD ohrievač

SIC Graphit MOCVD ohrievač

Vetek Semiconductor produkuje ohrievač MOCVD Graphitového náteru SIC, ktorý je kľúčovou súčasťou procesu MOCVD. Na základe substrátu s vysokou čistotou je povrch potiahnutý vysoko čistým povlakom SIC, aby sa zabezpečila vynikajúca stabilita vysokej teploty a odolnosť proti korózii. Vďaka vysoko kvalitným a vysoko prispôsobeným produktovým službám je ohrievač MOCVD Vetek Semiconductor Graping Grapit MoCVD ideálnou voľbou na zabezpečenie stability procesu MOCVD a kvality tenkého depozície filmu. Vetek Semiconductor sa teší na to, že sa stane vaším partnerom.
Silikónový karbid potiahnutý epicestor

Silikónový karbid potiahnutý epicestor

Vetek Semiconductor je popredným výrobcom a dodávateľom výrobkov na povlaky SIC v Číne. Spoločnosť EPI Siliptor spoločnosti Vetek Semiconductor's Silicon Carbid Coated EPI má najvyššiu úroveň kvality v tomto odvetví, je vhodný pre viac štýlov epitaxiálnych rastových pecí a poskytuje vysoko prispôsobené produktové služby. Vetek Semiconductor sa teší na to, že sa stanete vaším dlhodobým partnerom v Číne.
Ako profesionál Povlak z karbidu kremíka výrobca a dodávateľ v Číne máme vlastnú továreň. Či už potrebujete prispôsobené služby, ktoré vyhovujú konkrétnym potrebám vášho regiónu alebo chcete kúpiť pokročilé a odolné Povlak z karbidu kremíka v Číne, môžete nám nechať správu.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept