Čln s vysokou čistotou

VeTek Semiconductor's High Purity Quartz Wafer Boat je vyrobený z veľmi čistého kremeňa, ktorý sa vyznačuje nízkym obsahom hydroxylových skupín, vysokou čistotou a silnou odolnosťou voči vysokým teplotám. Tento materiál je tiež široko používaný v polovodičovom priemysle ako materiál pre difúzne pece a komponenty CVD pecí. Ako kontajner na prenášanie kremíkových plátkov sa vysoko čistý kremíkový plátok používa v polovodičových, fotovoltaických, chemických a iných oblastiach.

Aplikačné scenáre

Prvým je pole polovodičov. Proces tepelného spracovania plátkov je veľmi dôležitý, vrátane tepelnej oxidácie, difúzie, žíhania atď. Procesom tepelného spracovania dávame plátkom nové vlastnosti.

Rúrky jadra vsádzkových pecí sa používajú na procesy spracovania polovodičových plátkov, ako je tepelná oxidácia, vysokoteplotná difúzia, žíhanie a nanášanie tenkých vrstiev. Dávková vykurovacia pec sa používa hlavne na ohrev telesa pece cievkami na dokončenie tepelného spracovania. Podľa rôznych pracovných štruktúr možno jadrové rúry vsádzkových pecí rozdeliť na horizontálne pece a vertikálne pece:

(1) Loď z kremenných oblátok s vysokou čistotou horizontálnej pece je umiestnená horizontálne, takže sa nazýva horizontálna pec.

V procese tepelného spracovania je oblátka naložená na čln s kremennou s vysokou čistotou, pomaly odoslaná do kremennej pece a oblátk je umiestnená do konštantnej teplotnej zóny na spracovanie. Po čakaní na dokončenie procesu sa doštička použitá kremeňová loď pomaly vytiahne z kremennej pece, aby sa zabránilo poškodeniu oblátky v dôsledku náhlych zmien teploty. Horizontálne pece sa široko používajú v difúznom procese integrovaných obvodov s priemermi oblátkov menej ako 200 mm. 

Výhody horizontálnych pecí sú jednoduchý proces, dobrá rovnomernosť medzi plátkami a schopnosť spracovať viacero plátkov súčasne. Nevýhodou je pomalá rýchlosť ohrevu, veľká veľkosť zariadenia, obtiažnosť automatizácie a ľahký vstup vonkajšieho vzduchu pri nakladaní a vykladaní doštičiek.

(2) Loď na oblátky s vysokou čistotou vertikálnej pece je umiestnená vertikálne, takže sa nazýva vertikálna pec.

Oblátka je naložená na kremennú vežu a pomaly stúpa do kremennej pece na vykurovanie. Počas procesu vykurovania bude čln s kremeňom s vysokou čistotou pomaly otáčať, aby sa zabezpečilo rovnomerné zahrievanie oblátky. Po spracovaní kremenná veža pomaly zostúpi, aby sa predišlo zmenám teploty, ktoré môžu spôsobiť poškodenie oblátky. Vertikálne pece sa používajú hlavne v procese integrovaného obvodu doštičiek s priemerom 200 mm a 300 mm. Hlavná technológia vertikálnych pecí spočíva v vysoko presnom regulácii teplotného poľa, regulácii častíc, regulácii mikroprostredia mikroprostredia a motorizácie. Výhodou vertikálnych pecí sú tenká vrstva prírodného oxidu, dobrá uniformita, ľahšia automatizácia, malá stopa zariadenia a dávkové spracovanie. Nevýhodou je, že rýchlosť zahrievania je pomalá.

Vo fotovoltaickom poli vyžaduje výrobný proces fotovoltaických buniek na prenos a transport kremíkových doštičiek v procese difúzie s vysokou teplotou. Vysokoteplotné ošetrenie pri vysoko čistom dusíku, kyslíku alebo inej inertnej plynovej atmosfére, ako je difúzia fosforu alebo difúzia bóru, je dôležitým krokom vo výrobnom procese solárnych článkov. Účelom je vytvoriť križovatku PN na kremíkovej doštičke.

Kremeňová loď má vo vnútri presne navrhnuté sloty, aby sa zabezpečilo, že kremíková oblátka udržiava presnú polohu počas procesu difúzie s vysokou teplotou a rovnomerne sa zahrieva. Pretože materiál z kremeňa má dobrú vysokú teplotu odporu a chemickú stabilitu, nebude znečisťovať kremíkovú doštičku, ktorá vedie k udržiavaniu vysokej čistoty výrobného prostredia.

Ako inovátor a líder na čínskom trhu s použitými kremeňovými člnmi, či už sa zaoberáte polovodičovým priemyslom alebo fotovoltaickým priemyslom, pokiaľ potrebujete čln s vysoko čistým kremeňom, požiadajte nás o cenovú ponuku a my vám budeme môcť prispôsobiť to pre vás podľa vašich potrieb.

Je to polovodič obchody s produktmi: