Grafitový čln pre PECVD

Aplikácia: Grafitový čln Veteksemicon pre PECVD je základnou súčasťou procesu chemického nanášania pár pomocou plazmy. Je navrhnutý špeciálne na nanášanie vysokokvalitného nitridu kremíka, oxidu kremičitého a iných tenkých vrstiev na kremíkové doštičky, zložené polovodiče a substráty zobrazovacích panelov. Jeho výkon priamo určuje rovnomernosť filmu, stabilitu procesu a výrobné náklady.

Služby, ktoré je možné poskytnúť: analýza scenára zákazníckej aplikácie, párovanie materiálov, riešenie technických problémov.

Profil spoločnosti：Veteksemicon má 2 laboratóriá, tím odborníkov s 20-ročnými skúsenosťami s materiálmi, s výskumnými a vývojovými a výrobnými, testovacími a overovacími schopnosťami.

Všeobecné informácie o produkte

Obchodné podmienky produktu

Hlavné oblasti použitia

Môj rival Graphite čln pre hlavné výhody PECVD

1. Vysoko čisté substráty, kontrolujúce znečistenie zo zdroja

Trváme na použití izostaticky lisovaného grafitu vysokej čistoty so stabilnou čistotou nad 99,995% ako základného materiálu, aby sme zabezpečili, že nebude zrážať kovové nečistoty ani v nepretržitom prevádzkovom prostredí 1600°C. Táto prísna požiadavka na materiál môže priamo zabrániť zhoršeniu výkonu plátku spôsobenému kontamináciou nosiča, čo poskytuje najzákladnejšiu záruku na nanášanie vysokokvalitných filmov z nitridu kremíka alebo oxidu kremičitého.

2. Presné tepelné pole a konštrukčný návrh na zabezpečenie jednotnosti procesu

Prostredníctvom rozsiahlej simulácie kvapalín a údajov o meraní procesov sme optimalizovali uhol štrbiny člna, hĺbku vodiacej drážky a dráhu prúdenia plynu. Táto starostlivá štrukturálna úvaha umožňuje rovnomernú distribúciu reaktívnych plynov medzi plátkami. Aktuálne merania ukazujú, že pri plnom zaťažení možno rovnomernú odchýlku hrúbky filmu medzi plátkami v rovnakej dávke stabilne kontrolovať v rozmedzí ± 1,5 %, čo výrazne zlepšuje výťažok produktu.

3. Prispôsobené náterové riešenia na riešenie špecifickej procesnej korózie

Aby sme vyhoveli rôznym prostrediam procesných plynov rôznych zákazníkov, ponúkame dve zrelé možnosti povrchovej úpravy: pyrolytický uhlík a karbid kremíka. Ak nanášate hlavne nitrid kremíka a používate čistenie vodíkom, hustý pyrolytický uhlíkový povlak môže poskytnúť vynikajúcu odolnosť voči erózii vodíkovej plazmy. Ak váš proces zahŕňa čistiace plyny obsahujúce fluór, potom je lepšou voľbou povlak z karbidu kremíka s vysokou tvrdosťou. Dokáže predĺžiť životnosť grafitového člna vo vysoko korozívnych prostrediach na viac ako trojnásobok oproti bežným nepotiahnutým výrobkom.

4. Vynikajúca stabilita tepelného šoku, prispôsobivá častým teplotným cyklom

Vďaka nášmu unikátnemu grafitovému zloženiu a dizajnu vnútornej výstuže môžu naše grafitové člny vydržať opakované rýchle chladiace a zahrievacie šoky procesu PECVD. V prísnych laboratórnych testoch, po 500 rýchlych tepelných cykloch z izbovej teploty na 800 °C, miera zachovania pevnosti v ohybe lode stále presahovala 90 %, čím sa účinne zabránilo praskaniu spôsobenému tepelným namáhaním a zabezpečila sa kontinuita a bezpečnosť výroby.

5. Potvrdenie o overení ekologického reťazca

Loď Veteksemicon Graphite na overenie ekologického reťazca PECVD pokrýva suroviny na výrobu, prešla medzinárodnou štandardnou certifikáciou a má množstvo patentovaných technológií na zabezpečenie jej spoľahlivosti a udržateľnosti v oblasti polovodičov a novej energie.

Ak chcete získať podrobné technické špecifikácie, biele knihy alebo opatrenia na testovanie vzoriek, kontaktujte náš tím technickej podpory a preskúmajte, ako môže Veteksemicon zvýšiť efektivitu vášho procesu.