Podporovateľ

Vetek Semiconductor je profesionálny vodca, ktorý sa uskutočnil v Číne EPI, Planetary Tugor a TAC potiahnutý výrobcom grafitskej podpory. a Naša podpora EPI je dôležitou súčasťouepitaxný rastV procese výroby polovodičov. Jeho hlavnou funkciou je podpora a zahrievanie oblátky, aby sa na povrchu doštičky mohla rovnomerne pestovať vysoko kvalitnú epitaxiálnu vrstvu.

Picestory EPI Semiconductors's EPI Vetek sú zvyčajne vyrobené z vysoko čistoty grafitu a potiahnuté vrstvou karbidu kremíka (SIC).Tento dizajn má nasledujúce kľúčové výhody:

● Stabilita vysokej teploty: Epiosceptor EPI môže zostať stabilný v prostredí s vysokou teplotou, čím sa zabezpečí rovnomerný rast epitaxnej vrstvy.

● Odolnosť proti korózii: Povlak SIC má vynikajúcu odolnosť proti korózii a môže odolávať erózii chemických plynov, čím sa rozširuje životnosť podnosu.

● Tepelná vodivosť: Vysoká tepelná vodivosť materiálu SIC zaisťuje pri zahrievaní rovnomerné rozdelenie teploty oblátky, čím sa zlepšuje kvalita epitaxnej vrstvy.

● Zodpovedanie koeficientu tepelnej expanzie: Koeficient tepelnej expanzie SIC je podobný ako v prípade grafitu, čím sa zabráni problému vylučovania povlaku v dôsledku tepelnej expanzie a kontrakcie.

Základné fyzikálne vlastnostiCVD SIC povlak:

CVD SIC Coating Production Shop:

Prehľad polovodičového reťazca epitaxie čipu: