Produkty
CVD SIC Focus Ring
  • CVD SIC Focus RingCVD SIC Focus Ring

CVD SIC Focus Ring

Vetek Semiconductor je popredným domácim výrobcom a dodávateľom CVD SIC Focus Rings, ktorý sa venuje poskytovaniu vysokovýkonných riešení produktov s vysokou spoľahlivosťou pre polovodičový priemysel. CVD zaostrené krúžky CVD SIC Vetek Semiconductor používajú technológiu pokročilej chemického depozície pary (CVD), majú vynikajúcu vysokú teplotnú odolnosť, odolnosť proti korózii a tepelnú vodivosť a široko sa používajú v polovodičových litografických procesoch. Vaše otázky sú vždy vítané.

Ako základ moderných elektronických zariadení a informačných technológií sa technológia Semiconductor stala nevyhnutnou súčasťou dnešnej spoločnosti. Od smartfónov po počítače, komunikačné vybavenie, zdravotnícke vybavenie a solárne články sa takmer všetky moderné technológie spoliehajú na výrobu a aplikáciu polovodičových zariadení.


Keďže požiadavky na funkčnú integráciu a výkon elektronických zariadení sa naďalej zvyšujú, neustále sa vyvíja a zlepšuje aj technológia procesu polovodičov. Ako základné spojenie v polovodičovej technológii, proces leptania priamo určuje štruktúru a charakteristiky zariadenia.


Proces leptania sa používa na presné odstránenie alebo nastavenie materiálu na povrchu polovodiča za vzniku požadovanej štruktúry a vzoru obvodu. Tieto štruktúry určujú výkon a funkčnosť polovodičových zariadení. Proces leptania je schopný dosiahnuť presnosť na úrovni nanometrov, ktorá je základom pre výrobu vysokovýkonných, vysoko výkonných integrovaných obvodov (IC).


CVD SIC Focus Ring je základnou zložkou suchého leptania, ktorá sa používa hlavne na zaostrenie plazmy, aby mala vyššiu hustotu a energiu na povrchu oblátky. Má funkciu rovnomerne distribučného plynu. Vetek Semiconductor pestuje vrstvu SIC podľa vrstvy prostredníctvom procesu CVD a nakoniec získa zaostrený kruh CVD SIC. Pripravený kruh zaostrenia CVD SIC môže dokonale spĺňať požiadavky procesu leptania.


CVD SiC Focus Ring working diagram

Kruh zaostrenia CVD SIC je vynikajúci v mechanických vlastnostiach, chemických vlastnostiach, tepelnej vodivosti, vysokej teplotnej odolnosti, odporu leptania iónov atď.


● Vysoká hustota znižuje objem leptania

● Vysoké pásové medzery a vynikajúca izolácia

● Vysoká tepelná vodivosť, nízka expanzná koeficient a odolnosť proti tepelnému šoku

● Vysoká elasticita a dobrý odolnosť proti mechanickému nárazu

● Vysoká tvrdosť, odolnosť proti opotrebovaniu a odolnosť proti korózii


Vetek Semiconductor má v Číne popredné schopnosti spracovania kruhu CVD SIC Focus. Medzitým nám pomáhajú Technický tím a predajný tím Vetek Semiconductor, ktorý nám pomáha poskytnúť zákazníkom najvhodnejšie produkty Focus Ring. Výber Vetetek Semiconductor znamená partnerstvo so spoločnosťou, ktorá sa zaviazala posunúť hraniceKarbid kremíka CVD inovácia.


So silným dôrazom na kvalitu, výkon a spokojnosť zákazníkov dodávame výrobky, ktoré nielenže spĺňame, ale presahujeme prísne požiadavky polovodičového priemyslu. Pomôžeme vám dosiahnuť vyššiu efektívnosť, spoľahlivosť a úspech vo vašich operáciách s našimi pokročilými riešeniami karbidu kremíka CVD.


Dáta SEM z CVD SIC filmu

SEM DATA OF CVD SIC COATING FILM


Základné fyzikálne vlastnosti povlaku CVD SIC

Základné fyzikálne vlastnosti povlaku CVD SIC
Majetok
Typická hodnota
Kryštalizácia
FCC β fázový polykryštalický, hlavne (111) orientovaný
Hustota
3,21 g/cm³
Tvrdosť
Tvrdosť 2500 Vickers (500g Zaťaženie)
Veľkosť zrna
2 ~ 10 mm
Chemická čistota
99,9995%
Tepelná kapacita
640 j · kg-1· K-1
Sublimačná teplota
2700 ℃
Ohybová sila
415 MPa RT 4-bod
Youngov modul
430 GPA 4PT ohýba, 1300 ℃
Tepelná vodivosť
300 W · m-1· K-1
Tepelná expanzia (CTE)
4,5 × 10-6K-1

Je to polovodičCVD SIC Focus Ring Products Shops:

Semiconductor process equipmentSiC Coating Wafer CarrierCVD SiC Focus RingOxidation and Diffusion Furnace Equipment

Hot Tags: CVD SIC Focus Ring
Odoslať dopyt
Kontaktné informácie
Ak máte otázky týkajúce sa povlaku karbidu kremíka, povlaku karbidu tantalu, špeciálneho grafitu alebo cenníka, zanechajte nám svoj e-mail a my sa vám ozveme do 24 hodín.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept