Čistenie dielov na grafitové diely CVD SiC

1. Výzvy, ktorým môžete čeliť

• Ťažko odstrániteľná vrstva AlN:Tepelné čistenie 1300°C stále nedokáže účinne naleptať zvyškovú vrstvu AlN.

• Opakujúci sa pamäťový efekt:Efekt povrchovej pamäte spôsobuje nestabilné prúdenie plynu v reaktore, čo ovplyvňuje konzistenciu procesu.

• Cyklus čistenia ImpacPriepustnosť ts:Vonkajšie čistenie zvyčajne vyžaduje každých 16 procesných cyklov (4–5 susceptorov).

• Obavy z poškodenia drahého náteru:Nedostatok vlastných skúseností s chemickým čistením spôsobuje, že operátori váhajú s pokusom o agresívne čistenie.

2. Naše riešenie – navrhnuté pre procesy GaN / AlN / AlGaN

• Profesionálne čistenie:Zákazkový proces špeciálne vyvinutý pre grafitové diely potiahnuté CVD SiC. Od zákazníka sa nevyžaduje žiadny chemický vzorec.

• Bezpečnosť náteru:Prísne chráni 100 µm CVD SiC povlak. Absolútna nulová strata hrúbky po čistení.

• Overiteľné výsledky:Úplný certifikát analýzy (COA) pokrývajúci päť základných rozmerov. Dáta pripravené na archiváciu a audit kvality.

3. Päť základných kritérií prijatia

Prísne v súlade s kritickými požiadavkami používateľov polovodičovej epitaxie:

1. Zero Coating Loss– Hrúbka povlaku SiC sa po čistení nikdy nezníži (overenie porovnania hrúbky pred/po).

2. Žiadna povrchová deformácia- Rovinnosť a geometrická presnosť sú prísne kontrolované, aby sa zaistila žiadna fyzická deformácia.

3. Odstráňte pamäťový efekt– XPS analýza zvyškov Al/Ga potvrdzuje dôkladné odstránenie zdrojov pamäťového efektu.

4. Zero Metal Residue– Testovanie ICP-MS na Fe, Cu, Ni a iné kovy overuje nulové zvyškové kovové nečistoty.

5. Žiadne prebytočné častice– Test častíc QIII plus overenie čistoty zabraňujú nestabilite prúdenia plynu spôsobenej zvyškovými časticami.

4. Kontrola dodávky a správa o pravosti

Každá dávka sa dodáva s úplnými overovacími údajmi v piatich základných dimenziách:

5. Použiteľné produkty a pozadie procesu

Parametre produktu

Servisný proces

1. Dopyt– Pošlite fotografie dielov / model / množstvo na vyhodnotenie.

2. Citát– Technické zhodnotenie a podrobný návrh čistenia s cenovou ponukou.

3. Doprava- Pošlite nám diely alebo zabezpečte vyzdvihnutie.

4. Čistenie– Profesionálne čistenie + kompletná viacrozmerná kontrola.

5. Správa– Vydaná správa pravosti a vrátené vyčistené diely.

6. Sledovanie– Sledovanie efektov a priebežná technická podpora.

6. Prečo si vybrať upratovaciu službu VETEK?

VETEK kombinuje hlboké odborné znalosti v technológii CVD SiC povlaku so špecializovanými čistiacimi schopnosťami pre vysokohodnotné grafitové susceptory. Chápeme kritickú dôležitosť integrity povlaku, kontroly častíc a čistoty procesu v epitaxii GaN/AlN. Naša služba je určená pre zákazníkov, ktorí požadujú absolútnu bezpečnosť pre drahé povlaky CVD SiC pri úplnom riešení problémov s pamäťovým efektom a nestabilitou prúdenia plynu.

· K dispozícii je skúšobné čistenie na overenie malých dávok

· Úplná správa pravosti poskytnutá pri každej dodávke

· Nulové riziko poškodenia náteru alebo novej kontaminácie

· Profesionálne · Bezpečné · Overiteľné