Keramické elektrostatické skľučovadlo z nitridu hliníka (AlN).

1.Výhody

• Vysoko čistá AlN keramika s tepelnou vodivosťou až ~180 W/m·K pre efektívny prenos tepla a rovnomernosť teploty

• Silná elektrická izolácia a vysoký objemový odpor podporujúci stabilné upnutie pri 1–3 kV (dostupné vyššie napätia)

• Vlastné materiály dielektrickej vrstvy a usporiadanie elektród: Coulomb alebo Johnsen–Rahbek (JR); jedno alebo viaczónové

• Výkon rýchleho upnutia a uvoľnenia, zvyčajne pod 0,1 sekundy

• Mikroštruktúry s jamkami na povrchu až do priemeru ~300 μm, čím sa kontaktná plocha znižuje až na ~1%

• Schopnosť vysokej rovinnosti; typická globálna rovinnosť rádovo 0,5–3 μm PV pre platformy triedy 300 mm

• Hustá mikroštruktúra s takmer nulovou absorpciou vody a dobrou chemickou odolnosťou v procesnom prostredí

2.Typické aplikácie

Keramické elektrostatické skľučovadlá z nitridu hliníka sa používajú v procesných krokoch, ktoré vyžadujú bezpečné držanie plátku a kontrolované tepelné správanie:

• Suché plazmové leptanie (ICP / RIE) a súvisiace komorové procesy

• CVD, PEALD, termálne ALD a ďalšie stupne nanášania tenkých vrstiev

• Moduly na žíhanie a tepelné procesy vyžadujúce jednotnú teplotu plátku

• Inšpekčné, metrologické a presné etapy, kde sú kritické nízke častice a stabilné upnutie

3.AlN triedy materiálov – typické vlastnosti

VeTek ponúka viacero druhov nitridu hliníka na vyváženie tepelnej vodivosti, mechanickej pevnosti a nákladov pre návrhy ESC:

Jednotky: Tepelná vodivosť vo W/(m·K); dielektrická pevnosť v kV/mm; objemový odpor v Ω·cm (25 °C); dielektrická konštanta pri 1 MHz. Hodnoty sú typické a môžu sa líšiť v závislosti od procesu a geometrie dielu.

4.Typické parametre návrhu ESC

5.Prečo Choopozri elektrostatické skľučovadlá VeTek AlN?

VeTek Semiconductor integruje pokročilú keramiku AlN s presnou výrobou ESC pre zákazníkov z oblasti polovodičov, ktorí potrebujú tepelný výkon aj spoľahlivé upínanie:

• Viaceré druhy AlN s tepelnou vodivosťou od ~90 do ~180 W/m·K, aby zodpovedali procesným tepelným rozpočtom

• Flexibilný dizajn elektródy a dielektrika pre upínanie Coulomb alebo JR

• Prísna kontrola rovinnosti, mikroštruktúry povrchu a výkonu elektrickej izolácie

• Plná podpora životného cyklu: dizajn, nová konštrukcia a viacúrovňová renovácia

Pre nástroje na leptanie, nanášanie a tepelné nástroje, ktoré závisia od rovnomernej teploty plátku a čistého, opakovateľného upínania, poskytujú keramické elektrostatické skľučovadlá VeTek Aluminium Nitride Keramické elektrostatické skľučovadlo vysokovýkonnú keramickú platformu podporovanú technickou podporou zameranou na aplikáciu.