Porézny grafitový krúžok potiahnutý karbidom tantalu (TaC).

Vlastnosti produktu

• Základné vybavenie:Určené pre monokryštálové rastové pece SiC, ktoré pracujú s technológiou PVT.
• Primárna aplikácia:Vhodné pre systémy tepelných polí pri raste polovodičových kryštálov SiC tretej generácie.
• Stabilita pri vysokej teplote:Povlak TaC si zachováva štrukturálnu integritu pri ultra vysokých teplotách, čím podporuje rozšírenú prevádzku v náročných tepelných prostrediach.
• Ochrana proti korózii:Hustá vrstva CVD TaC chráni grafitový substrát pred kremíkovou parou, plynmi obsahujúcimi uhlík a inými korozívnymi druhmi, ktoré sa vyskytujú počas rastu SiC.
• Výkon tepelného poľa:Porézny grafitový základ pomáha pri distribúcii tepla a transporte pár, čo pomáha udržiavať stabilné rastové podmienky.
• Nízka kontaminácia:Vysoko čisté východiskové materiály a hustý povlak obmedzujú uvoľňovanie nečistôt a uvoľňovanie častíc, čo prospieva kvalite kryštálov.
• Predĺžená životnosť:Vrstva TaC zlepšuje odolnosť proti oxidácii, tvrdosť povrchu a celkovú odolnosť pri zvýšených teplotách.
• Priľnavosť náteru:Proces CVD poskytuje silnú väzbu medzi filmom TaC a grafitovým substrátom.
• Vlastné možnosti:Rozmery, konštrukčné detaily a špecifikácie povlaku je možné upraviť tak, aby zodpovedali rôznym požiadavkám rastovej pece SiC.

Technické špecifikácie

Aplikácie

VETEK porézny grafitový krúžok potiahnutý TaC sa primárne používa v:

• Rast monokryštálov SiC prostredníctvom PVT
• Výroba polovodičov tretej generácie
• Výroba SiC substrátu
• Systémy tepelného poľa v peciach na rast kryštálov
• Vysokoteplotné spracovanie polovodičov
• Pokročilé grafitové komponenty horúcej zóny

FAQ

1. Čo je porézny grafitový krúžok potiahnutý TaC?

Je to komponent tepelného poľa pre pece na rast kryštálov SiC. Kombinuje poréznu grafitovú štruktúru s CVD TaC povlakom, ktorý poskytuje tepelný manažment a ochranu proti vysokoteplotnej korózii.

2. Prečo používať povlak TaC na rast kryštálov SiC?

TaC poskytuje stabilitu pri vysokej teplote a chemickú odolnosť. Chráni grafit pred napadnutím výparmi kremíka a pomáha udržiavať čisté a stabilné rastové prostredie.

3. Čo ponúka štruktúra pórovitého grafitu?

Porézny dizajn podporuje distribúciu tepla a transport plynu v peci, čo prispieva k stabilným podmienkam rastu kryštálov SiC.

4. Dokáže VETEK vyrobiť prispôsobené grafitové krúžky potiahnuté TaC?

áno. VETEK ponúka prispôsobenie na základe zákazníckych výkresov, návrhov pecí a potrieb procesu, vrátane rozmerov, konfigurácie substrátu a parametrov povlaku.