E-Chuck potiahnutý SIC

Keď sa nitrid gália (GAN) stáva základným materiálom polovodiča tretej generácie, jeho aplikácie vo vysokofrekvenčných, vysoko výkonných a optoelektronických poliach sa naďalej rozširujú, ako sú 5G komunikačné základné stanice, energetické moduly a LED zariadenia. Avšak v polovodičovej výrobe, najmä v procese leptania, musia byť doštičky podrobené vysokému teplote, vysokému chemickému koróznemu prostrediu a extrémne vysokým požiadavkám na procesné procesy, ktoré ukladajú extrémne vysoké technické štandardy pre nástroje na ložisko doštičiek.

Keramické palety SIC SIC Semiconductor sú navrhnuté na leptanie doštičiek a ponúka vysokú čistotu, vynikajúcu odolnosť v oblasti tepla a chemikálie na podporu vášho výrobného procesu. Je vhodný na proces leptania plazmy (ICP/RIE) a je ideálnou voľbou v modernom vybavení výroby polovodičov.

Silné stránky

1. Keramický materiál s vysokou čistotou

Chemická stabilita: Čistota materiálu je viac ako 99,5%a do oblátky GAN nedochádza k znečisteniu.

Vysoká tvrdosť a odolnosť proti opotrebeniu: tvrdosť blízko diamantu, schopná vydržať vysokofrekvenčné použitie, neviditeľné zmeny a škrabance.

2. Vynikajúci tepelný výkon

Vysoká tepelná vodivosť, koeficient tepelnej expanzie (CTE) zladený s GAN (CTE): znížte riziko prasknutia doškových prasknutí v procese leptania.

3. Super chemická odolnosť proti korózii

Môže dlho pracovať vo vysokej koncentrácii fluoridu, chloridu a iného korozívneho plynu.

4. Presný dizajn a obrábanie

Drsnosť povrchu a rovinnosť zabezpečujú hladké umiestňovanie doštičiek a uniformitu leptania, aby sa splnili požiadavky na vysoké presné procesy.

Rozmery, drážky, pevné diery a iné štruktúry je možné prispôsobiť podľa požiadaviek zákazníka.

Aplikácia E-Chucka potiahnutá SIC

● Vyleptanie plazmy (ICP/RIE)

Poskytuje fixáciu a podporu doštičiek v prostredí s vysokou teplotou a vysokou chemickou koróziou, vhodné na proces leptania GAN, SIC a iných materiálov.

● Prenos a úložisko oblátok

Poskytnite vysoko plochú platformu bez znečistenia na ochranu bezpečnosti oblátky vo výrobnom procese.

Prispôsobené služby

Je to polovodičponúka prispôsobené služby, ktoré vyhovujú vašim špecifickým potrebám procesu:

● Prispôsobenie veľkosti: Veľkosť paliet je možné prispôsobiť podľa veľkosti oblátky (Ø4 ~ 12 palcov).

● Optimalizácia štruktúry: Podporujte drážku, polohovací otvor, pevný bod a ďalšie prispôsobenie štruktúry.

Je to polovodičObchody s výrobkami E-Chuck potiahnuté SIC: