Produkty

Ak ste sa niekedy stretli s nerovnomerným prietokom plynu alebo kontamináciou časticami v depozičnej komore, grafitová sprchová hlavica VETEK CVD s grafitovou povrchovou úpravou SiC je navrhnutá tak, aby to vyriešila. Začína s vysoko čistým izostatickým grafitom pre tepelnú stabilitu a ľahké opracovanie, potom dostáva hustý CVD povlak z karbidu kremíka (SiC), ktorý utesňuje povrch, odoláva korozívnym plynom (ako HCl alebo NF₃) a zabraňuje uvoľňovaniu plynov. Výsledkom je doska na distribúciu plynu, ktorá poskytuje rovnomerný tok cez plátok, zvláda vysokoteplotnú epitaxiu a vydrží oveľa dlhšie ako holý grafit alebo kremeň – vďaka čomu je dôveryhodným komponentom pre procesy CVD, PECVD, MOCVD, kremíkovú epitaxiu a SiC epitaxiu. Ponúkame tiež vlastné vzory a veľkosti otvorov, pretože žiadne dva reaktory nie sú úplne rovnaké.

VeTek Semiconductor High Purity Powder Silicon Carbide (SiC) Powder je špeciálne vyvinutý pre rast kryštálov SiC, polovodičové materiály a pokročilé keramické aplikácie. Vďaka pokročilej technológii čistenia a prísnej kontrole kvality ponúka náš prášok SiC ultranízke hladiny nečistôt, stabilnú distribúciu častíc a vynikajúcu konzistenciu pre náročné výrobné procesy.

V nastaveniach rastu kryštálov SiC PVT sa grafitové diely prevádzkujú pri veľmi vysokých teplotách po dlhú dobu. Grafitový krúžok VeTek potiahnutý PyC je určený na tento druh povinnosti. Vrstva pyrolytického uhlíka sa nanáša na vysoko čistý grafit pomocou CVD. To dáva dielu lepšiu povrchovú stabilitu a menej častíc, ktoré odchádzajú počas prevádzky. Zvyčajne ho umiestnite do oblasti tepelného poľa, aby ste pomohli riadiť prúdenie pary a spôsob, akým sa teplo šíri vo vnútri pece. Povlak tiež spomaľuje sublimáciu grafitu pri teplotách nad 2200 °C, vďaka čomu celý komponent vydrží dlhšie.

Pevný SiC Focus Ring, navrhnutý tak, aby obklopoval zónu sledovania plátku, zaisťuje lineárnu distribúciu plazmy a presné profily leptania od okraja do stredu. Tieto prémiové β-SiC komponenty sú vyrobené spoločnosťou Vetek Semiconductor (Wuyi Tianyao New Material Technology Co., LTD) pomocou patentovanej technológie chemického nanášania pár (CVD). Odparovaním surovín do hustej matrice bez spojiva Vetek odstraňuje porézne mikro-medzery bežné v starších materiáloch. V porovnaní so štandardným kremenným alebo kremíkovým tienením naše CVD SiC komponenty obstoja oveľa lepšie voči korozívnym halogénovým plynom, chránia wafer v hlbokej sub-7nm logike a hustej výrobe pamäťových čipov. Tešíme sa na váš ďalší dopyt.

Tento AMAT 0200-03201 Wafer Lift Pin od spoločnosti VeTek začína vysoko čistým grafitom, potom na vrch pridáme hustý CVD SiC povlak. Je vyrobený pre 300 mm epitaxné systémy a reaktory z aplikovaných materiálov EPI. Prečo grafit a SiC? Grafit zvláda teplo naozaj dobre. Vrstva SiC prijíma korozívne plyny a rýchlo sa neopotrebováva. Dizajn tenkej steny? Je to pre čistejšie zdvíhanie a umiestnenie plátku, menej častíc a dlhšiu životnosť dielov pri vysokých teplotách. Vyrábame tiež podobné grafitové diely potiahnuté SiC pre systémy ASM, Aixtron a LPE. Tešíme sa na váš dopyt.

Vetek Semiconductor vyrába doštičkové nosiče pre systémy VEECO MOCVD, postavené špeciálne pre prácu s LED epitaxou, ako sú GaN LED, modro-zelené LED a hlboký rast UV LED. Tieto nosiče začínajú vysoko čistým grafitom a získavajú hustý CVD povlak z karbidu kremíka (SiC). Táto kombinácia dobre odoláva vysokým teplotám, ktoré vidíte v MOCVD – dobrá tepelná stabilita, odolnosť proti korózii a náter trvá.