MOCVD SiC potiahnutý susceptor

Technické parametre

CVD SIC FILM KRIŠTÁĽOVÁ ŠTRUKTÚRA

Definícia a zloženie produktu

Susceptor VETEK MOCVD SiC Coated Susceptor je prémiový komponent nesúci doštičky navrhnutý špeciálne pre epitaxné spracovanie polovodičov tretej generácie, ako sú GaN a SiC. Tento produkt spája vynikajúce fyzikálne vlastnosti dvoch vysokovýkonných materiálov:

Grafitový substrát s vysokou čistotou: Vyrobené pomocou technológie izostatického lisovania, aby sa zabezpečilo, že základný materiál má výnimočnú štrukturálnu integritu, vysokú hustotu a stabilitu tepelného spracovania.

CVD SiC povlak: Hustá ochranná vrstva z karbidu kremíka (SiC) bez napätia je vyrastená na povrchu grafitu prostredníctvom pokročilej technológie chemického nanášania z plynnej fázy (CVD).

Prečo je VETEK vašou zárukou výnosu

Dokonalá presnosť kontroly tepelnej rovnomernosti: Na rozdiel od konvenčných nosičov dosahujú susceptory VETEK vysoko synchronizovaný prenos tepla cez celý povrch vďaka precíznej kontrole hrúbky povlaku a tepelného odporu na úrovni nanometrov. Tento sofistikovaný tepelný manažment efektívne minimalizuje štandardnú odchýlku vlnovej dĺžky (STD) na povrchu plátku, čím výrazne zvyšuje kvalitu jedného plátku a celkovú konzistenciu šarže.

Dlhodobá ochrana s nulovou kontamináciou časticami: V MOCVD reakčných komorách obsahujúcich vysoko korozívne plyny sú bežné grafitové podstavce náchylné na odlupovanie častíc. CVD SiC povlak VETEK má výnimočnú chemickú inertnosť a pôsobí ako nepreniknuteľný štít, ktorý utesňuje grafitové mikropóry. To zaisťuje úplnú izoláciu nečistôt substrátu a zabraňuje akejkoľvek kontaminácii epitaxných vrstiev GaN alebo SiC.

Výnimočná odolnosť proti únave a životnosť:Vďaka patentovanému procesu úpravy rozhrania VETEK dosahuje náš povlak SiC optimalizovanú tepelnú rozťažnosť zodpovedajúcu grafitovému substrátu. Dokonca aj pri vysokofrekvenčných tepelných cykloch medzi extrémnymi teplotami si povlak zachováva vynikajúcu priľnavosť bez odlupovania alebo vytvárania mikrotrhlín. To výrazne znižuje frekvenciu údržby náhradných dielov a znižuje vaše celkové náklady na vlastníctvo.

Naša dielňa