Oxidácia a difúzna pec

Oxidačné a difúzne pece sa používajú v rôznych oblastiach, ako sú polovodičové zariadenia, diskrétne zariadenia, optoelektronické zariadenia, výkonové elektronické zariadenia, solárne články a výroba integrovaných obvodov vo veľkom meradle. Používajú sa na procesy vrátane difúzie, oxidácie, žíhania, legovania a spekania doštičiek.

Vetek Semiconductor je popredný výrobca, ktorý sa špecializuje na výrobu vysokokvalitných komponentov grafitov, kremíkových karbidov a kremenných komponentov v oxidačných a difúznych peciach. Zaviazali sme sa poskytovať vysoko kvalitné komponenty pece pre polovodičové a fotovoltaické odvetvia a sme v popredí technológie povrchového povlaku, ako sú CVD-SIC, CVD-TAC, Pyrocarbon atď.

Výhody komponentov karbidu kremíka vetruktorov:

● Vysoká teplota odpor (do 1600 ℃)

● Vynikajúca tepelná vodivosť a tepelná stabilita

● Dobrá chemická odolnosť proti korózii

● Nízky koeficient tepelnej expanzie

● Vysoká pevnosť a tvrdosť

● Dlhá životnosť

V oxidačných a difúznych peciach, v dôsledku prítomnosti vysokých teploty a korozívnych plynov, veľa komponentov vyžaduje použitie materiálov s vysokou teplotou a koróziou, medzi ktorými je karbid kremíka (SIC), bežne používanou voľbou. Nasledujú bežné komponenty karbidu kremíka nachádzajúce sa v oxidačných peciach a difúznych peciach:

● Oáľka

Loď za kremíkové karbidové oblátky je kontajner, ktorý sa používa na prepravu kremíkových doštičiek, ktoré vydržia vysoké teploty a nebudú reagovať so kremíkovými doštičkami.

● Pecká trubica

Pecká trubica je jadrom zložkou difúznej pece, ktorá sa používa na prispôsobenie kremíkových doštičiek a na reguláciu reakčného prostredia. Silikónové karbidové pece rúrky majú vynikajúci výkon vysokej teploty a odolnosti proti korózii.

● Odvodňovacia doska

Používa sa na reguláciu distribúcie prúdu vzduchu a teploty vo vnútri pece

● Termočlánky

Používa sa na ochranu termočlánkov merania teploty pred priamym kontaktom s korozívnymi plynmi.

● Konzolové pádlo

Kremíkové konzolové konzolové lopatky sú odolné voči vysokej teplote a korózii a používajú sa na prepravu kremíkových člnov alebo kremenných lodí, ktoré prenášajú kremíkové doštičky do skúmaviek difúznej pece.

● Injektor plynu

Používa sa na zavedenie reakčného plynu do pece, musí byť odolný voči vysokej teplote a korózii.

● Nosič lodí

Nosič doštičiek kremíka kremíka sa používa na fixovanie a podporu kremíkových doštičiek, ktoré majú výhody, ako je vysoká pevnosť, odolnosť proti korózii a dobrá štrukturálna stabilita.

● Dvere pece

Na vnútornej strane dverí pece sa môžu použiť aj kremíkové karbidové povlaky alebo komponenty.

● Vykurovací prvok

Vykurovacie prvky kremíkového karbidu sú vhodné pre vysoké teploty, vysoký výkon a môžu rýchlo zvýšiť teploty na viac ako 1 000 ℃.

● SIC vložka

Používa sa na ochranu vnútornej steny skúmaviek pecí, môže pomôcť znížiť stratu tepelnej energie a odolávať tvrdým prostrediam, ako je vysoký teplota a vysoký tlak.

View as

Kremíková karbidová keramická doštička

Spoločnosť Vetek Semiconductor sa špecializuje na poskytovanie vysokokvalitných oblátok, podstavcov a nosičov na mieru vo vertikálnom/stĺpcovom a horizontálnych konfiguráciách, aby sa splnili rôzne požiadavky na polovodičový proces. Ako popredný výrobca a dodávateľ filmov o kremíkových karbidoch kremíka naša keramická keramická čln s kremíkom uprednostňujú európske a americké trhy pre svoju vysokú nákladovú efektívnosť a vynikajúcu kvalitu a široko sa používajú v vyspelých výrobných procesoch výroby polovodičov. Vetek Semiconductor sa zaväzuje nadviazať dlhodobé a stabilné spolupráce s globálnymi zákazníkmi a najmä dúfa, že sa stane vašim spoľahlivým partnerom v polovodičovom procese v Číne.

Vidieť viac >> Odoslať dopyt >>

Konzolové pádlo z karbidu kremíka (SiC).

Úlohou konzolového pádla z karbidu kremíka (SiC) v polovodičovom priemysle je podporovať a prepravovať doštičky. Pri vysokoteplotných procesoch, ako je difúzia a oxidácia, môže konzolová lopatka SiC stabilne niesť plátkové člny a plátky bez deformácie alebo poškodenia v dôsledku vysokej teploty, čo zaisťuje hladký priebeh procesu. Zjednotenie difúzie, oxidácie a iných procesov je rozhodujúce pre zlepšenie konzistencie a výťažku spracovania oblátok. VeTek Semiconductor využíva pokročilú technológiu na zostavenie konzolovej lopatky SiC s vysoko čistým karbidom kremíka, aby sa zabezpečilo, že doštičky nebudú kontaminované. VeTek Semiconductor sa teší na dlhodobú spoluprácu s vami na produktoch Cantilever Paddle z karbidu kremíka (SiC).

Vidieť viac >> Odoslať dopyt >>

Kremeň

Vetek Semiconductor je popredný kremeňový tradičný dodávateľ a výrobca v Číne. Krulíky, ktoré vyrábame, sa používajú hlavne v polovodičových a fotovoltaických poliach. Majú vlastnosti čistoty a vysokej teploty odporu. A náš kremeňový téglik pre polovodičovú podporu podporuje výrobné procesy ťahania kremíkovej tyče, nakladania a vykladania surovín polysilikónov v procese výroby polovodičových kremíkových kremíkových kremíkových kremíkov a sú kľúčovými spotrebnými výrobkami pre výrobu kremíkových doštičiek. Vetek Semiconductor sa teší na to, že sa stanete vaším dlhodobým partnerom v Číne.

Vidieť viac >> Odoslať dopyt >>

Nosič plátku z karbidu kremíka

Ako profesionálny dodávateľ nosičov kremíkových karbidov v Číne je spoločnosť Vetek Semiconductor SIC Wafer Carrier je nástrojom špeciálne používaný na manipuláciu a spracovanie polovodičových doštičiek, ktoré zohrávajú nenahraditeľnú úlohu v procese polovodičových doštičiek. Vitajte na vašej ďalšej konzultácii.

Vidieť viac >> Odoslať dopyt >>

Kremík

VETEK Semiconductor Silikon Master je kľúčovou súčasťou procesov polovodičovej difúzie a oxidácie. Ako špecializovaná platforma na prepravu kremíkových člnov vo vysokoteplotných peciach má kremíkový podstavec mnoho jedinečných výhod, vrátane zlepšenej teplotnej uniformity, optimalizovanej kvality oblátkov a zvýšeného výkonu polovodičových zariadení. Ak chcete získať viac informácií o produkte, neváhajte nás kontaktovať.

Vidieť viac >> Odoslať dopyt >>

Keramický prsteň SIC

Ako rozsiahly továreň a dodávateľ produktov SIC Ceramic Tense Ring v Číne má keramický keramický prsteň Semiconductor SIC Ceramic Ceramic Ring širokú škálu aplikácií v priemyselnej oblasti kvôli svojej vynikajúcej tepelnej vodivosti, vynikajúcej chemickej odolnosti proti chemikálii a korózii a vysokej pevnosti a tuhosti. Vitajte svoje ďalšie otázky.

Vidieť viac >> Odoslať dopyt >>

Shop high-performance Oxidation and Diffusion Furnace components at Veteksemicon—your trusted source for SiC-based thermal process solutions.

Veteksemicon supplies premium-grade silicon carbide (SiC) components designed specifically for oxidation and diffusion furnace systems in semiconductor manufacturing. These SiC parts exhibit excellent thermal shock resistance, high mechanical strength, and long-term dimensional stability in ultra-high-temperature and oxidizing environments. Ideal for process temperatures exceeding 1200°C, they are widely used in atmospheric and low-pressure diffusion systems, oxidation furnaces, and vertical thermal reactors.

Our product portfolio includes SiC cantilevers, boats, support rods, and tube liners, all engineered for precise wafer positioning and minimal particle contamination. The low thermal expansion coefficient of SiC helps maintain alignment across thermal cycles, while its chemical inertness ensures compatibility with O₂, N₂, H₂, and dopant gases. Whether for dry oxidation or dopant diffusion (e.g., phosphorus or boron), Veteksemicon’s diffusion furnace solutions enhance process stability, extend maintenance intervals, and support 200mm/300mm wafer formats.

For technical drawings, material datasheets, or quotation support, please visit Veteksemicon’s Oxidation and Diffusion Furnace product page or contact our application engineers.

Ako profesionál Oxidácia a difúzna pec výrobca a dodávateľ v Číne máme vlastnú továreň. Či už potrebujete prispôsobené služby, ktoré vyhovujú konkrétnym potrebám vášho regiónu alebo chcete kúpiť pokročilé a odolné Oxidácia a difúzna pec v Číne, môžete nám nechať správu.

QR kód

O nás

Produkty

Kontaktuj nás

Telefón
+86-18069220752
Fax
+86-579-87223657
E-mail
anny@veteksemi.com
Adresa
Wangda Road, ulica Ziyang, Wuyi County, Jinhua City, provincia Zhejiang, Čína

Webové menu

Vyhľadávanie produktov

Jazyk

Ukončiť ponuku

Oxidácia a difúzna pec

Výhody komponentov karbidu kremíka vetruktorov:

Kremíková karbidová keramická doštička

Konzolové pádlo z karbidu kremíka (SiC).

Kremeň

Nosič plátku z karbidu kremíka

Kremík

Keramický prsteň SIC

Odoslať dopyt

QR kód

O nás

Produkty

Kontaktuj nás

Telefón

Fax

E-mail

Adresa