Oxidácia a difúzna pec

Oxidačné a difúzne pece sa používajú v rôznych oblastiach, ako sú polovodičové zariadenia, diskrétne zariadenia, optoelektronické zariadenia, výkonové elektronické zariadenia, solárne články a výroba integrovaných obvodov vo veľkom meradle. Používajú sa na procesy vrátane difúzie, oxidácie, žíhania, legovania a spekania doštičiek.

Vetek Semiconductor je popredný výrobca, ktorý sa špecializuje na výrobu vysokokvalitných komponentov grafitov, kremíkových karbidov a kremenných komponentov v oxidačných a difúznych peciach. Zaviazali sme sa poskytovať vysoko kvalitné komponenty pece pre polovodičové a fotovoltaické odvetvia a sme v popredí technológie povrchového povlaku, ako sú CVD-SIC, CVD-TAC, Pyrocarbon atď.

Výhody komponentov karbidu kremíka vetruktorov:

● Vysoká teplota odpor (do 1600 ℃)

● Vynikajúca tepelná vodivosť a tepelná stabilita

● Dobrá chemická odolnosť proti korózii

● Nízky koeficient tepelnej expanzie

● Vysoká pevnosť a tvrdosť

● Dlhá životnosť

V oxidačných a difúznych peciach, v dôsledku prítomnosti vysokých teploty a korozívnych plynov, veľa komponentov vyžaduje použitie materiálov s vysokou teplotou a koróziou, medzi ktorými je karbid kremíka (SIC), bežne používanou voľbou. Nasledujú bežné komponenty karbidu kremíka nachádzajúce sa v oxidačných peciach a difúznych peciach:

● Oáľka

Loď za kremíkové karbidové oblátky je kontajner, ktorý sa používa na prepravu kremíkových doštičiek, ktoré vydržia vysoké teploty a nebudú reagovať so kremíkovými doštičkami.

● Pecká trubica

Pecká trubica je jadrom zložkou difúznej pece, ktorá sa používa na prispôsobenie kremíkových doštičiek a na reguláciu reakčného prostredia. Silikónové karbidové pece rúrky majú vynikajúci výkon vysokej teploty a odolnosti proti korózii.

● Odvodňovacia doska

Používa sa na reguláciu distribúcie prúdu vzduchu a teploty vo vnútri pece

● Termočlánky

Používa sa na ochranu termočlánkov merania teploty pred priamym kontaktom s korozívnymi plynmi.

● Konzolové pádlo

Kremíkové konzolové konzolové lopatky sú odolné voči vysokej teplote a korózii a používajú sa na prepravu kremíkových člnov alebo kremenných lodí, ktoré prenášajú kremíkové doštičky do skúmaviek difúznej pece.

● Injektor plynu

Používa sa na zavedenie reakčného plynu do pece, musí byť odolný voči vysokej teplote a korózii.

● Nosič lodí

Nosič doštičiek kremíka kremíka sa používa na fixovanie a podporu kremíkových doštičiek, ktoré majú výhody, ako je vysoká pevnosť, odolnosť proti korózii a dobrá štrukturálna stabilita.

● Dvere pece

Na vnútornej strane dverí pece sa môžu použiť aj kremíkové karbidové povlaky alebo komponenty.

● Vykurovací prvok

Vykurovacie prvky kremíkového karbidu sú vhodné pre vysoké teploty, vysoký výkon a môžu rýchlo zvýšiť teploty na viac ako 1 000 ℃.

● SIC vložka

Používa sa na ochranu vnútornej steny skúmaviek pecí, môže pomôcť znížiť stratu tepelnej energie a odolávať tvrdým prostrediam, ako je vysoký teplota a vysoký tlak.

View as

Čln

Loď na doštičku SiC sa používa na prenášanie doštičky, hlavne na proces oxidácie a difúzie, aby sa zabezpečilo rovnomerné rozloženie teploty na povrchu doštičky. Vysoká teplotná stabilita a vysoká tepelná vodivosť SiC materiálov zaisťuje efektívne a spoľahlivé spracovanie polovodičov. Vetek semiconductor sa zaviazal poskytovať kvalitné produkty za konkurencieschopné ceny.

Vidieť viac >> Odoslať dopyt >>

Procesná trubica SiC

Vetic Semiconductor poskytuje vysokovýkonné skúmavky SIC procesov pre výrobu polovodičov. Naše procesné trubice SIC vynikajú pri oxidácii, difúznych procesoch. Vďaka vynikajúcej kvalite a remeselnosti tieto trubice ponúkajú vysokoteplotnú stabilitu a tepelnú vodivosť pre efektívne spracovanie polovodičov. Ponúkame konkurenčné ceny a snažíme sa byť vaším dlhodobým partnerom v Číne.

Vidieť viac >> Odoslať dopyt >>

Konzolové pádlo SiC

Konzolové pádlo SiC od VeTek Semiconductor sa používa v peciach na tepelné spracovanie na manipuláciu a podopieranie člnov s plátkami. Vysoká teplotná stabilita a vysoká tepelná vodivosť SiC materiálu zaisťuje vysokú účinnosť a spoľahlivosť v procese spracovania polovodičov. Zaviazali sme sa poskytovať vysokokvalitné produkty za konkurencieschopné ceny a tešíme sa, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom v Číne.

Vidieť viac >> Odoslať dopyt >>

Loď z karbidu kremíka pre horizontálnu pec

Loď na doštičky SiC má vysoké požiadavky na čistotu materiálu. Vetek Semiconductor dodáva tomuto produktu čistotu SiC ＞99,96 % rekryštalizovaný SiC. VeTek Semiconductor je profesionálny výrobca a dodávateľ v Číne pre čln z karbidu kremíka pre horizontálne pece, s dlhoročnými skúsenosťami v oblasti výskumu a vývoja a výroba, môže dobre kontrolovať kvalitu a ponúkať konkurencieschopnú cenu. Môžete si byť istí, že si od nás kúpite doštičkový čln z karbidu kremíka pre horizontálnu pec.

Vidieť viac >> Odoslať dopyt >>

SIC potiahnutá kremíková karbidová člnová loď

Loď na kremíkové karbidové s kremíkom potiahnutá SIC je navrhnutá so 165 slotmi na prepravu doštičiek. cena. Vitajte pri návšteve našej továrne a o ďalšej diskusii o spolupráci.

Vidieť viac >> Odoslať dopyt >>

Konzolové konzolové kremík

Kremíkové karbidové konzolové pádlo spoločnosti Vetek Semiconductor je dôležitou súčasťou výrobného procesu polovodičov, najmä vhodné pre difúzne pece alebo LPCVD pece v vysoko teplotných procesoch, ako je difúzia a RTP. Naše konzolové pádlo na konzoly kremíkového karbidu je starostlivo navrhnuté a vyrobené s vynikajúcou vysokou teplotou odporu a mechanickou pevnosťou a môže bezpečne a spoľahlivo prepravovať doštičky do procesnej trubice za tvrdých podmienok procesu pre rôzne vysokoteplotné procesy, ako je difúzia a RTP. Tešíme sa, že sa staneme vašim dlhodobým partnerom v Číne. Požiadajte nás zadarmo, aby ste sa nás opýtali.

Vidieť viac >> Odoslať dopyt >>

Shop high-performance Oxidation and Diffusion Furnace components at Veteksemicon—your trusted source for SiC-based thermal process solutions.

Veteksemicon supplies premium-grade silicon carbide (SiC) components designed specifically for oxidation and diffusion furnace systems in semiconductor manufacturing. These SiC parts exhibit excellent thermal shock resistance, high mechanical strength, and long-term dimensional stability in ultra-high-temperature and oxidizing environments. Ideal for process temperatures exceeding 1200°C, they are widely used in atmospheric and low-pressure diffusion systems, oxidation furnaces, and vertical thermal reactors.

Our product portfolio includes SiC cantilevers, boats, support rods, and tube liners, all engineered for precise wafer positioning and minimal particle contamination. The low thermal expansion coefficient of SiC helps maintain alignment across thermal cycles, while its chemical inertness ensures compatibility with O₂, N₂, H₂, and dopant gases. Whether for dry oxidation or dopant diffusion (e.g., phosphorus or boron), Veteksemicon’s diffusion furnace solutions enhance process stability, extend maintenance intervals, and support 200mm/300mm wafer formats.

For technical drawings, material datasheets, or quotation support, please visit Veteksemicon’s Oxidation and Diffusion Furnace product page or contact our application engineers.

Ako profesionál Oxidácia a difúzna pec výrobca a dodávateľ v Číne máme vlastnú továreň. Či už potrebujete prispôsobené služby, ktoré vyhovujú konkrétnym potrebám vášho regiónu alebo chcete kúpiť pokročilé a odolné Oxidácia a difúzna pec v Číne, môžete nám nechať správu.

QR kód

O nás

Produkty

Kontaktuj nás

Telefón
+86-18069220752
Fax
+86-579-87223657
E-mail
anny@veteksemi.com
Adresa
Wangda Road, ulica Ziyang, Wuyi County, Jinhua City, provincia Zhejiang, Čína

Webové menu

Vyhľadávanie produktov

Jazyk

Ukončiť ponuku

Oxidácia a difúzna pec

Výhody komponentov karbidu kremíka vetruktorov:

Čln

Procesná trubica SiC

Konzolové pádlo SiC

Loď z karbidu kremíka pre horizontálnu pec

SIC potiahnutá kremíková karbidová člnová loď

Konzolové konzolové kremík

Odoslať dopyt

QR kód

O nás

Produkty

Kontaktuj nás

Telefón

Fax

E-mail

Adresa