CVD uhlíkový karbid kremíka (SiC) potiahnutý grafitom RTP RTA nosič

Vlastnosti produktu

· Základné vybavenie:Navrhnuté pre systémy Rapid Thermal Annealing (RTA) a Rapid Thermal Processing (RTP).

· Primary Aaplikácia: Optimalizované pre procesy žíhania polovodičových doštičiek.

· Opehodnotenie Teteplota:Stabilná prevádzka od 200°C do 700°C.

· Excellent Thermala jednotnosť: Zaisťuje rovnomerné rozloženie tepla pre konzistentné spracovanie plátkov.

· Nízke časticeGenergia: Hustý povlak CVD SiC minimalizuje kontamináciu a zlepšuje výťažnosť výroby.

· Vynikajúca chemická odolnosť:Odolný voči oxidácii a korozívnym procesným plynom počas tepelného spracovania.

· Vynikajúcig ThermOdolnosť voči nárazom: Zachováva štrukturálnu integritu prostredníctvom opakovaných rýchlych cyklov zahrievania a chladenia.

· Dlhá životnosť:SiC povlak odolný voči opotrebovaniu výrazne predlžuje životnosť komponentov a znižuje náklady na údržbu.

· VlastnéVýroba:Dostupné v rôznych veľkostiach a konfiguráciách, aby vyhovovali rôznym RTP/RTA zariadeniam.

Technické špecifikácie

Aplikácie

·Rýchle tepelné žíhanie (RTA)

· Rýchle tepelné spracovanie (RTP)

· Žíhanie kremíkových plátkov

· Aktivácia dopantu

· Oxidácia

· Difúzia

·Výroba kompozitných polovodičov

·Výroba MEMS

·Spracovanie výkonových polovodičov

FAQ

1. Čo je to RTP/RTA dopravca?

Nosič RTP/RTA je podporný komponent plátku používaný v systémoch rýchleho tepelného spracovania a rýchleho tepelného žíhania. Bezpečne drží polovodičové doštičky a zároveň poskytuje rovnomerný prenos tepla počas celého tepelného cyklu.

2. Prečo je preferovaný povlak CVD SiC?

V porovnaní s holým grafitom ponúka povlak CVD SiC vynikajúcu odolnosť proti oxidácii, nižšiu tvorbu častíc, lepšiu chemickú stabilitu a výrazne dlhšiu životnosť.

3. Môže VETEK poskytnúť prispôsobené RTP/RTA nosiče?

áno. VETEK ponúka prispôsobené nosiče RTP/RTA na základe zákazníckych výkresov.