Vertikálna pec SiC potiahnutý prstenec

Vo vertikálnych peciach je použitie kruhov potiahnutých SIC bežným roztokom, ktorý sa používa hlavne vo vysokoteplotných procesoch tepelného spracovaniapolovodičové doštičky. SiC potiahnuté krúžky vertikálnej pece sú vysokovýkonné komponenty odolné voči vysokej teplote, ktoré sa používajú na podporu alebo ochranu plátkov, aby sa zabezpečila stabilita a spoľahlivosť procesu.

Funkcie zvislého kruhu potiahnutého pecou SIC

● Funkcie

Vedľajšia rola. Používa sa na podopretie doštičiek na zabezpečenie ich stability a presnej polohy vo vysokoteplotných peciach.

●  Ochrana proti korózii

Zabráňte korozívnym plynom alebo chemikáliám v korodovaní základného materiálu.

●  Znížte znečistenie

Vysoko čistý povlak SiC môže účinne zabrániť uvoľňovaniu častíc a kontaminácii nečistotami, aby sa zabezpečila čistota procesu.

●  Vysoká teplota

Udržiavajte vynikajúce mechanické vlastnosti a rozmerovú stabilitu vo vysokoteplotných prostrediach (zvyčajne nad 1000 ° C).

Vlastnosti zvislého kruhu potiahnutého pecou SIC

●  Vysoká tvrdosť a pevnosť

Materiály SIC majú vynikajúcu mechanickú pevnosť a v peci vydržia vysoké teplotné napätie.

●  Dobrá tepelná stabilita

Vysoká tepelná vodivosť SiC a nízky koeficient tepelnej rozťažnosti pomáhajú znižovať tepelné namáhanie.

●  Silná chemická stabilita

SiC povlaky môžu odolávať korózii v oxidačnom, kyslom alebo alkalickom prostredí.

●  Nízka kontaminácia častíc

Hladký povrch znižuje možnosť tvorby častíc, ktorá je obzvlášť vhodná pre ultra čisté prostredie výroby polovodičov.

Používa sa na difúziu, oxidáciu, žíhanie a iné procesy vo vertikálnych peciach na podporu kremíkových doštičiek a zabránenie kontaminácii častíc počas tepelného spracovania.

Výrobné materiály a procesy

●  Podklad: Vyrobený z vysokokvalitného grafitu SGL, kvalita je zaručená.

● Príter: povlak karbidu kremíka sa na grafitovú povrchu uplatňuje chemickou depozíciou pary (CVD).

● Hrúbka povlaku je zvyčajne medzi 50 ~ 500 μm, čo je upravené podľa požiadaviek na použitie.

● Chemický povlak na ukladanie pary má vyššiu čistotu a hustotu a lepšiu trvanlivosť.

Vyberte príslušnéNáter SICkrúžok podľa priemeru kremíkového plátku v peci a špecifikácií nosiča. Vieme vám ho prispôsobiť. Hustý náter s vysokou čistotou je odolnejší a menej znečisťuje. Pravidelne vymieňajte podľa frekvencie používania a požiadaviek na proces, aby ste predišli kontaminácii alebo zlyhaniu podpory v dôsledku starnutia náteru.

Ako profesionálny dodávateľ a výrobca prsteňov potiahnutý vertikálnou pecou v Číne sa Vetek Semiconductor už dlho zaviazal poskytovať pokročilú vertikálnu technológiu pecí a produktové riešenia pre polovodičový priemysel. Úprimne sa tešíme, že sa staneme vašim dlhodobým partnerom v Číne.

Kryštálová štruktúra filmu CVD SIC

Základné fyzikálne vlastnosti povlaku CVD SIC

Je to polovodičVertikálne obchody s kruhovými prsteňmi potiahnuté: