Pórovité sic keramické skľučovky

Porézne SIC keramické skľučovky, ktoré ponúka Veteksemicon, sa vyrába z vysoko čistoty z porézneho kremíka (SIC), tento keramický skľučanie zaisťuje rovnomerný prietok plynu, vynikajúcu rovinnosť a tepelnú stabilitu za vysokých vákuových a teplotných podmienok. Je ideálny pre vákuové upínacie systémy, kde je kritická manipulácia bez oblátok bez častíc.

Ⅰ. Kľúčové vlastnosti materiálu a výhody výkonu

1. Vynikajúca tepelná vodivosť a teplotný odpor

Karbid kremíka ponúka vysokú tepelnú vodivosť (120-200 W/m · k) a vydrží prevádzkové teploty nad 1600 ° C, vďaka čomu je skľučanie ideálny na leptanie plazmy, spracovanie iónových lúčov a vysokoteplotné depozičné procesy.

Úloha: Zaisťuje rovnomerné rozptyľovanie tepla, znižovanie deformácie oblátky a zlepšenie jednotnosti procesu.

2. Vynikajúca mechanická pevnosť a odolnosť proti opotrebeniu

Hustá mikroštruktúra SIC poskytuje skľučovodnú tvrdosť (> 2000 HV) a mechanickú trvanlivosť, ktorá je nevyhnutná pre cykly zaťaženia/vykladania doštičiek a drsných procesných prostredí.

Úloha: predĺži životnosť Chucka a zároveň udržiava rozmerovú stabilitu a presnosť povrchu.

3. Kontrolovaná pórovitosť pre rovnomernú vákuovú distribúciu

Jemne vyladená pórovitá štruktúra keramiky umožňuje konzistentné vákuové nasávanie cez povrch oblátky, čím zabezpečuje bezpečné umiestnenie doštičiek s minimálnou kontamináciou častíc.

Úloha: Zvyšuje kompatibilitu s čistenou kompatibilitu a zaisťuje spracovanie bez poškodenia.

4. Vynikajúci chemický odpor

SICova inerte k korozívnym plynom a plazmovým prostredím chráni skľučovadlo pred degradáciou počas reaktívneho leptania iónov alebo chemického čistenia.

Úloha: minimalizuje prestoje a frekvenciu čistenia, čím sa znižujú prevádzkové náklady.

Ⅱ. Prispôsobenie a podporné služby spoločnosti Vetemicon

Vo VeteKemicone poskytujeme úplné spektrum služieb prispôsobených služieb, ktoré spĺňajú náročné požiadavky výrobcov polovodičov:

● Vlastná geometria a dizajn veľkosti pórov: Ponúkame skľučovanie v rôznych veľkostiach, hrúbkách a hustotách pórov prispôsobených špecifikáciám vášho zariadenia a vákuovým požiadavkám.

● Prototypovanie rýchleho obratu: Krátke dodacie lehoty a nízka výrobná podpora MOQ pre výskumy a vývoj a pilotné linky.

● Spoľahlivá služba popredajných predpredajov: Od inštalačného usmernenia po monitorovanie životného cyklu zabezpečujeme dlhodobú stabilitu výkonu a technickú podporu.

Ⅲ. Žiadosti

● Vylepšovanie a vybavenie na spracovanie plazmy

● Implantácia a žíhajúce komory

● Systémy chemického mechanického leštenia (CMP)

● MELOLÓGIA A DEPECTICKÉ PLATCÁ

● Vákuové držanie a upínacie systémy v prostredí čistých miestností

Produkty Vekekekeon: