Správy

Tento článok popisuje najmä široké možnosti použitia keramiky z karbidu kremíka. Zameriava sa aj na analýzu príčin vzniku spekacích trhlín v keramike z karbidu kremíka a zodpovedajúcich riešení.

Technológia leptania v polovodičovej výrobe sa často vyskytuje problémy, ako je efekt načítania, efekt mikro-drážky a efekt nabíjania, ktoré ovplyvňujú kvalitu produktu. Roztoky na zlepšenie zahŕňajú optimalizáciu hustoty plazmy, úpravu zloženia reakčného plynu, zlepšenie účinnosti vákuového systému, navrhovanie primeraného usporiadania litografie a výber vhodných materiálov na leptanie masky a podmienok procesu.

Horúce tlačové spekanie je hlavnou metódou prípravy vysoko výkonnej SIC keramiky. Proces spekania naliehavého na horúce patrí: výber vysoko čistoty SIC prášku, lisovanie a formovanie pri vysokej teplote a vysokom tlaku a potom spekanie. SIC keramika pripravená touto metódou má výhody vysokej čistoty a vysokej hustoty a široko sa používa v mlečných diskoch a zariadeniach na úpravu tepla na spracovanie oblátok.