Správy

V továrni Fab je veľa typov meracích zariadení. Bežné vybavenie zahŕňa zariadenia na meranie procesu litografie, zariadenia na meranie procesu leptania, zariadenia na meranie depozície tenkého filmu, zariadenia na meranie procesu dopingu, zariadenia na meranie procesu CMP, zariadenia na detekciu častíc a ďalšie meracie zariadenia.

Poťah karbidu tantalu (TAC) môže významne predĺžiť životnosť grafitských častí zlepšením vysokej teplotnej odolnosti, odporu korózie, mechanických vlastností a schopností tepelného hospodárenia. Jeho charakteristiky vysokej čistoty znižujú kontamináciu nečistoty, zlepšujú kvalitu rastu kryštálov a zvyšujú energetickú účinnosť. Je vhodný pre aplikácie výroby polovodičov a rastúceho rastu vo vysokoteplotných, vysoko korozívnych prostrediach.

Vody Tantalum karbid (TAC) sa široko používajú v polovodičovom poli, hlavne pre komponenty epitaxného rastu reaktora, komponenty s jedným kryštálovým rastom, vysokoteplotné priemyselné komponenty, ohrievače MOCVD a nosiče doštičiek a zlepšovanie vysokej teploty odolnosti v oblasti vysokej teploty môžu zlepšiť trvanlivosť zariadenia, výnos a kvalita kryštálov, skrátenie energetickej spotreby a zlepšenie energetickej spotreby a zlepšenie stability.

Počas procesu epitaxného rastu SIC sa môže vyskytnúť zlyhanie grafitovej suspenzie SIC. Tento dokument vykonáva prísnu analýzu zlyhania fenoménu grafitov potiahnutého SIC, ktorý obsahuje hlavne dva faktory: zlyhanie epitaxiálneho plynu SIC a zlyhanie poťahovania SIC.