Vysoko čistý čln s CVD SiC povlakom

1. Hlavné faktory výkonu?

• Čistota na úrovni 7N:Udržiavame štandard čistoty 99,99999 % (7N). Toto je nesporné, aby sa zabránilo migrácii kovových kontaminantov do plátku počas dlhých krokov vjazdu alebo oxidácie.
• Pečať CVD (50–300 μm):Nenatierame len povrch. Naša 50–300 μm CVD SiC vrstva vytvára úplné tesnenie na substráte. Tým sa eliminuje pórovitosť, čo znamená, že loď nezachytí chemikálie ani neuvoľní častice ani po opakovanom vystavení reaktívnym plynom alebo agresívnom čistení SPM/DHF.
• Tepelná tuhosť:Prirodzená nízka tepelná rozťažnosť karbidu kremíka udržuje tieto lode rovné. Neprehýbajú sa ani sa nekrútia počas rýchleho tepelného žíhania (RTA), čo zaisťuje, že rameno robota vždy zasiahne správnu drážku bez zaseknutia.
• Trvalé výnosy:Povrch je navrhnutý pre nízku priľnavosť vedľajších produktov. Menej nánosov znamená, že menej častíc zasiahne vaše doštičky a viac cyklov medzi cyklami čistenia na mokrom stole.
• Vlastná geometria:Každá fab má svoje vlastné nastavenie. Obrábame ich podľa vašich špecifických výkresov rozstupu a štrbín, či už prevádzkujete horizontálnu pec alebo vertikálnu 300 mm automatizovanú linku.

2. Kompatibilita procesov

• Atmosféra:Odolný voči TMGa, AsH3 a prostrediam s vysokou koncentráciou O₂.
• Tepelný rozsah:Stabilná dlhodobá prevádzka až do 1400°C.
• Materiály:Špeciálne navrhnuté pre oxidačné a difúzne procesy logických, výkonových a analógových doštičiek.