Podpora povlaku z karbidu tantalum

Hlavná funkcia polovodiča VetekPovlaky karbidu tantalu (TAC)Podpora je vylepšiťtepelný odpor, odolnosť proti opotrebeniu a odolnosť proti koróziisubstrátu potiahnutím vrstvy povlaku karbidu tantalu, aby sa zlepšila presnosť a spoľahlivosť procesu a rozšírila životnosť komponentov. Je to vysoko výkonný náterový produkt používaný v oblasti spracovania polovodičov.

Podpora Tantalum Carbide Cloating Coating spoločnosti Vetek Semiconductor má Mohsovu tvrdosť takmer 9 ~ 10, druhá iba na Diamond. Má mimoriadne silnú odolnosť proti opotrebeniu a počas spracovania môže účinne odolať povrchovému opotrebeniu a nárazu, čím účinne predĺžilo životnosť komponentov zariadenia. V kombinácii s vysokým bodom topenia asi 3880 ° C sa často používa na poťahovanie kľúčových komponentov polovodičových zariadení, ako sú povrchové povlaky podporných štruktúr, zariadenia na úpravu tepla, komôr alebo tesnení v polovodičových zariadeniach na zvýšenie odporu opotrebenia a vysokej teploty.

Kvôli extrémne vysokému bodu topenia karbidu tantalu asi 3880 ° C, v procesoch spracovania polovodičov, ako sú napríkladukladanie chemickej pary (CVD)aFyzické ukladanie pár (PVD), TAC povlak so silným odporom vysokej teploty a chemickej koróznej odolnosti môže účinne chrániť komponenty zariadení a zabrániť korózii alebo poškodeniu substrátu v extrémnych prostrediach, čím poskytuje účinnú ochranu pre vysoké teplotné prostredie vo výrobe doštičiek. Táto funkcia tiež určuje, že pri leptaní a korozívnych procesoch sa často používa podpora povlaku Tantalum karbidov od spoločnosti Vetek Semiconductor.

Podpora povlaku karbidu tantalu má tiež funkciu redukčnej kontaminácie častíc. Počas spracovania doštičiek povrchový opotrebenie zvyčajne vytvára kontamináciu častíc, ktorá ovplyvňuje kvalitu produktu doštičky. Extrémne charakteristiky produktu TAC Coating v blízkosti tvrdosti takmer 9-10 MOHS môžu účinne znížiť toto opotrebenie, čím sa zníži generovanie častíc. V kombinácii s vynikajúcou tepelnou vodivosťou TAC (asi 21 W/m · k) si môže udržiavať dobrú tepelnú vodivosť za vysokých teplotných podmienok, čím výrazne zlepší výnos a konzistentnosť výroby doštičiek.

Hlavné výrobky TAC Coating Vetek Semiconductor zahŕňajúOhrievač TAC, CVD TAC povlakový tlak, TAC povlaky SuslecaNáhradný diel TACatď. a podporovať prispôsobené produktové služby. Vetek Semiconductor sa zaväzuje poskytovať vynikajúce výrobky a technické riešenia pre polovodičový priemysel. Úprimne dúfame, že sa staneme vašim dlhodobým partnerom v Číne.

Tantalum karbid (TAC) povlaky na mikroskopickom priereze:

Základné fyzikálne vlastnosti povlaku TAC CVD：