Epitaxia karbidu kremíka

Príprava vysoko kvalitnej epitaxie karbidu kremíka závisí od pokročilých technológií a príslušenstva vybavenia a vybavenia. V súčasnosti je najpoužívanejšou metódou rastu epitaxie kremíka kremíka chemické ukladanie pary (CVD). Má výhody presnej kontroly epitaxnej hrúbky filmu a koncentrácie dopingu, menšieho počtu defektov, miernej rýchlosti rastu, automatickej kontroly procesu atď. A je spoľahlivou technológiou, ktorá sa komerčne úspešne uplatňuje.

Epitaxia CVD karbidu kremíka vo všeobecnosti prijíma horúcu stenu alebo teplú stenu CVD zariadenie, čo zaisťuje pokračovanie Epitaxnej vrstvy 4H kryštalickej SIC za podmienok vysokej rastovej teploty (1500 ~ 1700 ℃), horúcej steny alebo teplej steny CVD CVD po rokoch vývoja a veriteľa reakcie v súvislosti s reakčným vzťahom a verným štruktúrou.

Existujú tri hlavné ukazovatele pre kvalitu epitaxnej pece SIC, prvou je výkon epitaxného rastu vrátane rovnomernosti hrúbky, dopingovej jednotnosti, miery defektov a miery rastu; Druhým je teplotný výkon samotného zariadenia vrátane rýchlosti vykurovania/chladenia, maximálnej teploty, teplotnej jednotnosti; Nakoniec, nákladový výkon samotného zariadenia vrátane ceny a kapacity jednej jednotky.

Tri druhy kremíkových karbidových epitaxiálnych rastových pecí a rozdielov v základných príslušenstve

Horizontálna horizontálna spoločnosť CVD (typický model PE1O6 spoločnosti LPE), Warm Wall Planetary CVD (typický model Aixtron G5WWC/G10) a kvázi-hot Wall CVD (reprezentované spoločnosťou EPIREVOS6 spoločnosti Nuflare Company) sú technické riešenia epitaxiálneho vybavenia, ktoré sa v tomto štádiu uvádzali v komerčných aplikáciách. Tri technické zariadenia majú tiež svoje vlastné charakteristiky a môžu byť vybrané podľa dopytu. Ich štruktúra je zobrazená nasledovne:

Zodpovedajúce základné komponenty sú nasledujúce:

a) horizontálna horizontálna časť jadrovej časti- polovičné diely pozostávajú z

Izolácia

Hlavný zvršok izolácie

Horná polovica

Izolácia proti prúdu

Prechodný kus 2

Prechodný kus 1

Externá vzduchová dýza

Zúžené šnorchlovanie

Vonkajšia plynová dýza Argon

Argónová plynová tryska

Podporová doska

Centrovanie kolíka

Ústredná garda

Ochranný kryt po prúde

Po prúde pravým ochranným krytom

Proti prúdu ľavého ochranného krytu

Protiprúdový ochranný kryt

Bočná stena

Grafitový prsteň

Ochranné plsť

Podporná plsť

Kontaktný blok

Plynový valec

b) Typ teplej steny planéty

Planetárny disk planéty a planéta potiahnutý planétom SIC

c) kvázi-tepelný typ stojaceho steny

NUFLARE (Japonsko): Táto spoločnosť ponúka duálne vertikálne pece, ktoré prispievajú k zvýšenému výnosu výroby. Zariadenie má vysokorýchlostnú rotáciu až 1 000 otáčok za minútu, čo je veľmi prospešné pre epitaxiálnu uniformitu. Jeho smer prúdu vzduchu sa navyše líši od iných zariadení, ktorý je vertikálne smerom nadol, čím sa minimalizuje tvorba častíc a znižuje pravdepodobnosť, že kvapky častíc padajú na doštičky. Poskytujeme pre toto vybavenie základné grafitové komponenty potiahnuté Core SIC.

Ako dodávateľ komponentov epitaxiálnych zariadení SIC sa Vetek Semiconductor zaväzuje poskytovať zákazníkom kvalitné komponenty povlaku na podporu úspešnej implementácie epitaxie SIC.

View as

Tryska na povlaky CVD SIC

CVD SiC povlakové dýzy sú rozhodujúce komponenty používané v procese LPE SiC epitaxe na nanášanie materiálov z karbidu kremíka počas výroby polovodičov. Tieto dýzy sú zvyčajne vyrobené z vysokoteplotného a chemicky stabilného materiálu karbidu kremíka, aby bola zabezpečená stabilita v drsnom prostredí spracovania. Navrhnuté pre rovnomerné nanášanie, hrajú kľúčovú úlohu pri kontrole kvality a rovnomernosti epitaxných vrstiev pestovaných v polovodičových aplikáciách. Vítame váš ďalší dopyt.

Vidieť viac >> Odoslať dopyt >>

Ochranca povlaku CVD SIC

Použitý ochranca CVD SIC Coaturs Coating Chránič spoločnosti Vetek Semiconductor je epitaxia LPE SIC, pojem „LPE“ sa zvyčajne týka nízkotlakovej epixie (LPE) pri nízkotlakovom chemickom ukladaní chemickej pary (LPCVD). Pri výrobe polovodičov je LPE dôležitou technológiou procesu na pestovanie tenkých filmov s jedným kryštálom, ktorá sa často používa na pestovanie kremíkových epitaxiálnych vrstiev alebo iných polovodičových epitaxiálnych vrstiev.

Vidieť viac >> Odoslať dopyt >>

Podstavec potiahnutý SiC

Vetek Semiconductor je profesionál vo výrobe CVD SiC povlaku, TaC povlaku na grafite a materiáli z karbidu kremíka. Poskytujeme produkty OEM a ODM, ako je podstavec s povlakom SiC, nosič doštičiek, skľučovadlo na doštičky, podnos nosiča doštičiek, planetárny disk atď. čoskoro od vás.

Vidieť viac >> Odoslať dopyt >>

Vstupný prsteň

Vetek Semiconductor vyniká v úzkej spolupráci s klientmi pri výrobe návrhu na mieru pre náter SIC povlaku na mieru prispôsobený špecifickým potrebám. Tento vstupný kruh SIC povlaku je starostlivo skonštruovaný pre rôzne aplikácie, ako sú vybavenie SIC CVD a epitaxia karbidu kremíka. Pre riešenia vstupného kruhu SIC na mieru, neváhajte a oslovte sa k vetke Semiconductor pre personalizovanú pomoc.

Vidieť viac >> Odoslať dopyt >>

Predhrievací prsteň

Predhrievací krúžok sa používa v procese polovodičovej epitaxie na predhrievanie doštičiek a zvýšenie stability a rovnomernosti teploty doštičiek, čo má veľký význam pre kvalitný rast epitaxných vrstiev. Vetek Semiconductor prísne kontroluje čistotu tohto produktu, aby sa zabránilo odparovaniu nečistôt pri vysokých teplotách. Vitajte na ďalšej diskusii s nami.

Vidieť viac >> Odoslať dopyt >>

Výťahový kolík

VeTek Semiconductor je popredný výrobca a inovátor EPI Wafer Lift Pin v Číne. Už mnoho rokov sa špecializujeme na povlak SiC na povrchu grafitu. Ponúkame EPI Wafer Lift Pin pre proces Epi. S vysokou kvalitou a konkurencieschopnou cenou vás vítame na návšteve našej továrne v Číne.

Vidieť viac >> Odoslať dopyt >>

Veteksemicon silicon carbide epitaxy is your advanced procurement option for producing high-performance 4H-SiC and 6H-SiC epitaxial layers used in wide bandgap semiconductor devices. SiC epitaxy enables the formation of defect-controlled, dopant-engineered epitaxial layers critical for high-power, high-frequency, and high-temperature electronic devices.

Our offering includes specialized components such as SiC epitaxial susceptors, SiC-coated wafer holders, and epitaxy process rings, tailored for use in horizontal and vertical MOCVD and CVD reactors, including platforms by Veeco, Aixtron, and LPE. Veteksemicon’s parts are coated with high-purity CVD SiC, ensuring chemical compatibility, temperature uniformity, and minimal contamination during epitaxial layer growth.

Silicon carbide epitaxy is essential for fabricating power MOSFETs, IGBTs, and RF components, particularly in automotive, energy, and aerospace applications. The epitaxial process requires extremely precise control over doping concentration, layer thickness, and crystallographic orientation, which is why substrate compatibility and thermal stability of reactor parts are critical.

Relevant terms in this category include 4H-SiC epitaxial wafer, low-defect-density epitaxy, SiC epi-ready substrates, and wide bandgap semiconductors. Veteksemicon supports both research-scale and volume production needs with stable, repeatable, and thermally robust component solutions.

To learn more about our silicon carbide epitaxy support materials, visit the Veteksemicon product detail page or contact us for detailed specifications and engineering support.

Ako profesionál Epitaxia karbidu kremíka výrobca a dodávateľ v Číne máme vlastnú továreň. Či už potrebujete prispôsobené služby, ktoré vyhovujú konkrétnym potrebám vášho regiónu alebo chcete kúpiť pokročilé a odolné Epitaxia karbidu kremíka v Číne, môžete nám nechať správu.

QR kód

O nás

Produkty

Kontaktuj nás

Telefón
+86-18069220752
Fax
+86-579-87223657
E-mail
anny@veteksemi.com
Adresa
Wangda Road, ulica Ziyang, Wuyi County, Jinhua City, provincia Zhejiang, Čína

Webové menu

Vyhľadávanie produktov

Jazyk

Ukončiť ponuku

Epitaxia karbidu kremíka

Tri druhy kremíkových karbidových epitaxiálnych rastových pecí a rozdielov v základných príslušenstve

Zodpovedajúce základné komponenty sú nasledujúce:

a) horizontálna horizontálna časť jadrovej časti- polovičné diely pozostávajú z

b) Typ teplej steny planéty

c) kvázi-tepelný typ stojaceho steny

Tryska na povlaky CVD SIC

Ochranca povlaku CVD SIC

Podstavec potiahnutý SiC

Vstupný prsteň

Predhrievací prsteň

Výťahový kolík

Odoslať dopyt

QR kód

O nás

Produkty

Kontaktuj nás

Telefón

Fax

E-mail

Adresa