Priemyselné správy

Porézny tantalum karbid spoločnosti Vetek Semiconductor, ako nová generácia rastového materiálu SIC Crystal, má mnoho vynikajúcich vlastností produktov a hrá kľúčovú úlohu v rôznych technológiách spracovania polovodičov.

Pracovným princípom epitaxnej pece je ukladať polovodičové materiály na substrát pri vysokej teplote a vysokom tlaku. Silikónový epitaxiálny rast je pestovať vrstvu kryštálu s rovnakou kryštálovou orientáciou ako substrát a rôzna hrúbka na kremíkovom jednovrokryštálovom substráte s určitou orientáciou kryštálov. Tento článok predstavuje hlavne metódy kremíka epitaxného rastu: epitaxia fázy a epitaxia kvapalnej fázy.

Chemická depozícia z plynnej fázy (CVD) pri výrobe polovodičov sa používa na nanášanie tenkovrstvových materiálov v komore, vrátane SiO2, SiN atď., a bežne používané typy zahŕňajú PECVD a LPCVD. Úpravou teploty, tlaku a typu reakčného plynu dosahuje CVD vysokú čistotu, rovnomernosť a dobré pokrytie filmom, aby vyhovovalo rôznym procesným požiadavkám.

Tento článok popisuje najmä široké možnosti použitia keramiky z karbidu kremíka. Zameriava sa aj na analýzu príčin vzniku spekacích trhlín v keramike z karbidu kremíka a zodpovedajúcich riešení.