Priemyselné správy

Z hľadiska aplikácie Rast jednotlivých kryštálov SIC tento článok porovnáva základné fyzikálne parametre TAC povlaku a povlaku SIC a vysvetľuje základné výhody povlaku TAC oproti povlaku SIC, pokiaľ ide o vysokú teplotnú rezistenciu, silnú chemickú stabilitu, znížené nečistoty a nižšie náklady.

V továrni Fab je veľa typov meracích zariadení. Bežné vybavenie zahŕňa zariadenia na meranie procesu litografie, zariadenia na meranie procesu leptania, zariadenia na meranie depozície tenkého filmu, zariadenia na meranie procesu dopingu, zariadenia na meranie procesu CMP, zariadenia na detekciu častíc a ďalšie meracie zariadenia.

Poťah karbidu tantalu (TAC) môže významne predĺžiť životnosť grafitských častí zlepšením vysokej teplotnej odolnosti, odporu korózie, mechanických vlastností a schopností tepelného hospodárenia. Jeho charakteristiky vysokej čistoty znižujú kontamináciu nečistoty, zlepšujú kvalitu rastu kryštálov a zvyšujú energetickú účinnosť. Je vhodný pre aplikácie výroby polovodičov a rastúceho rastu vo vysokoteplotných, vysoko korozívnych prostrediach.

Vody Tantalum karbid (TAC) sa široko používajú v polovodičovom poli, hlavne pre komponenty epitaxného rastu reaktora, komponenty s jedným kryštálovým rastom, vysokoteplotné priemyselné komponenty, ohrievače MOCVD a nosiče doštičiek a zlepšovanie vysokej teploty odolnosti v oblasti vysokej teploty môžu zlepšiť trvanlivosť zariadenia, výnos a kvalita kryštálov, skrátenie energetickej spotreby a zlepšenie energetickej spotreby a zlepšenie stability.