Priemyselné správy

Chemická depozícia z plynnej fázy (CVD) pri výrobe polovodičov sa používa na nanášanie tenkovrstvových materiálov v komore, vrátane SiO2, SiN atď., a bežne používané typy zahŕňajú PECVD a LPCVD. Úpravou teploty, tlaku a typu reakčného plynu dosahuje CVD vysokú čistotu, rovnomernosť a dobré pokrytie filmom, aby vyhovovalo rôznym procesným požiadavkám.

Tento článok popisuje najmä široké možnosti použitia keramiky z karbidu kremíka. Zameriava sa aj na analýzu príčin vzniku spekacích trhlín v keramike z karbidu kremíka a zodpovedajúcich riešení.

Technológia leptania v polovodičovej výrobe sa často vyskytuje problémy, ako je efekt načítania, efekt mikro-drážky a efekt nabíjania, ktoré ovplyvňujú kvalitu produktu. Roztoky na zlepšenie zahŕňajú optimalizáciu hustoty plazmy, úpravu zloženia reakčného plynu, zlepšenie účinnosti vákuového systému, navrhovanie primeraného usporiadania litografie a výber vhodných materiálov na leptanie masky a podmienok procesu.