Priemyselné správy

Kremíkové karbidové (SIC) rastové pece zohrávajú dôležitú úlohu pri vytváraní vysokovýkonných doštičiek SIC pre polovodičové zariadenia novej generácie. Proces rastúceho vysoko kvalitných kryštálov SIC však predstavuje značné výzvy. Od riadenia extrémnych tepelných gradientov až po zníženie defektov kryštálov, zabezpečenie jednotného rastu a kontroly výrobných nákladov si každý krok vyžaduje pokročilé inžinierske riešenia. Tento článok bude analyzovať technické výzvy rastových pecí SIC Crystal z viacerých perspektív.

Smart Cut je pokročilý proces výroby polovodičov založený na implantácii iónov a odizolovaní doštičiek špeciálne navrhnutých na výrobu ultratenných a vysoko rovnomerných 3C-SIC (kubický kremíkový karbid). Môže prenášať ultra tenké kryštalické materiály z jedného substrátu do druhého, čím prelomí pôvodné fyzické obmedzenia a zmení celý substrátový priemysel.

Pri príprave vysoko kvalitných a vysokokvalitných karbidových substrátov kremíka vyžaduje jadro presnú reguláciu teploty výroby podľa dobrých materiálov tepelného poľa. V súčasnosti sa používajú hlavne súpravy tepelného poľa, ktoré sú hlavne používané vysokokvalitné grafitové štrukturálne komponenty, ktorých funkciami sú na zahrievaní rozpustený uhlíkový prášok a kremíkový prášok, ako aj na udržanie tepla.

Keď uvidíte polovodičy tretej generácie, určite sa čudujete, aké boli prvé a druhé generácie. „Generácia“ je tu klasifikovaná na základe materiálov používaných pri výrobe polovodičov.

Elektrostatický Chuck (ESC), tiež známy ako elektrostatický Chuck (ESC, E-Chuck), je svietidlo, ktoré využíva princíp elektrostatickej adsorpcie na udržanie a fixovanie adsorbovaného materiálu. Je vhodný pre vákuové a plazmové prostredie.

Nosiči oblátkov SIC, ako kľúčové spotrebné materiály v priemyselnom reťazci polovodičov tretej generácie, ich technické charakteristiky priamo ovplyvňujú výťažok epitaxného rastu a výroby zariadení. Vzhľadom na prudký dopyt po vysokých napätiach a vysokorýchlostných zariadeniach v odvetviach, ako sú základné stanice 5G a nové energetické vozidlá, výskum a uplatňovanie nosičov doštičiek SIC teraz čelia významným rozvojovým príležitostiam.