Priemyselné správy

Hlavnými metódami pestovania jednovrstín SIC sú: Fyzikálny transport pary (PVT), ukladanie chemickej pary s vysokým teplotou (HTCVD) a rast s vysokým teplotným roztokom (HTSG).

S vývojom solárneho fotovoltaického priemyslu sú difúzne pece a LPCVD pece hlavným zariadením na výrobu solárnych článkov, ktoré priamo ovplyvňujú účinný výkon solárnych článkov. Na základe komplexného výkonu výrobkov a nákladov na používanie majú keramické materiály kremíka kremíka v oblasti solárnych článkov viac výhod ako kremenné materiály. Aplikácia kremíkových keramických materiálov kremíka vo fotovoltaickom priemysle môže výrazne pomôcť fotovoltaickým podnikom znížiť pomocné materiály investičných nákladov, zlepšiť kvalitu produktu a konkurencieschopnosť. Budúci trend keramických materiálov karbidu kremíka vo fotovoltaickom poli je hlavne smerom k vyššej čistote, silnejšej kapacite nosenia, vyššej zaťaženia a nižším nákladom.

Článok analyzuje špecifické výzvy, ktorým čelí proces povlaku TAC CVD pre rast jednotlivých kryštálov SIC počas spracovania polovodičov, ako je napríklad zdroj materiálu a čistota, optimalizácia parametrov procesu, poťahovanie adhézie, údržba zariadení a stabilita procesu, ochrana životného prostredia a kontrola nákladov, ako rovnako ako zodpovedajúce priemyselné riešenia.

Z hľadiska aplikácie Rast jednotlivých kryštálov SIC tento článok porovnáva základné fyzikálne parametre TAC povlaku a povlaku SIC a vysvetľuje základné výhody povlaku TAC oproti povlaku SIC, pokiaľ ide o vysokú teplotnú rezistenciu, silnú chemickú stabilitu, znížené nečistoty a nižšie náklady.

V továrni Fab je veľa typov meracích zariadení. Bežné vybavenie zahŕňa zariadenia na meranie procesu litografie, zariadenia na meranie procesu leptania, zariadenia na meranie depozície tenkého filmu, zariadenia na meranie procesu dopingu, zariadenia na meranie procesu CMP, zariadenia na detekciu častíc a ďalšie meracie zariadenia.

Poťah karbidu tantalu (TAC) môže významne predĺžiť životnosť grafitských častí zlepšením vysokej teplotnej odolnosti, odporu korózie, mechanických vlastností a schopností tepelného hospodárenia. Jeho charakteristiky vysokej čistoty znižujú kontamináciu nečistoty, zlepšujú kvalitu rastu kryštálov a zvyšujú energetickú účinnosť. Je vhodný pre aplikácie výroby polovodičov a rastúceho rastu vo vysokoteplotných, vysoko korozívnych prostrediach.