Správy

Oplatí sa investícia do CVD Solid SiC? Porovnajte ROI monolitického SiC s tradičnými grafitovými povlakmi. Zistite, ako sa vynikajúca odolnosť voči plazme a rozšírené MTBC premietajú do nižšej miery šrotu plátkov a vyššej doby prevádzkyschopnosti zariadenia pre 12-palcové linky HVM.

Vysoko čisté materiály sú nevyhnutné pre výrobu polovodičov. Tieto procesy zahŕňajú extrémne teplo a korozívne chemikálie. CVD-SiC (Chemical Vapour Deposition Silicon Carbide) poskytuje potrebnú stabilitu a pevnosť. Vďaka svojej vysokej čistote a hustote je teraz primárnou voľbou pre pokročilé časti zariadení.

Vo svete polovodičov z karbidu kremíka (SiC) sa väčšina pozornosti zameriava na 8-palcové epitaxné reaktory alebo na zložitosť leštenia plátkov. Ak však vystopujeme dodávateľský reťazec až na úplný začiatok – vo vnútri pece pre fyzikálnu prepravu pár (PVT) – v tichosti prebieha zásadná „materiálová revolúcia“.