Produkty
Leštiaca kaša CMP
  • Leštiaca kaša CMPLeštiaca kaša CMP

Leštiaca kaša CMP

Leštiaca suspenzia CMP (chemická mechanická leštiaca kalka) je vysoko výkonný materiál používaný pri výrobe polovodičov a precíznom spracovaní materiálov. Jeho základnou funkciou je dosiahnuť jemnú rovinnosť a leštenie povrchu materiálu pod synergickým účinkom chemickej korózie a mechanického mletia, aby sa splnili požiadavky na rovnosť a kvalitu povrchu na úrovni nano. Tešíme sa na vašu ďalšiu konzultáciu.

Leštiaca suspenzia CMP spoločnosti Vetemicon sa používa hlavne ako leštiaca brúska v chemickom mechanickom leštení CMP na planarizáciu polovodičových materiálov. Má nasledujúce výhody:

Stupeň asociácie častíc priemeru a častíc sa môže voľne riadiť;
Častice sú monodispergované a distribúcia veľkosti častíc je rovnomerná;
Disperzný systém je stabilný;
Stupnica hromadnej výroby je veľká a rozdiel medzi dávkami je malý;
Nie je ľahké kondenzovať a usadiť sa.


Ukazovatele výkonnosti pre produkty s ultra vysokou čistotou

Parameter
Jednotka
Ukazovatele výkonnosti pre produkty s ultra vysokou čistotou

Biskup
Biskup2
Biskup3
Biskup4
Biskup-5
Biskup6
Biskup7
Priemerná veľkosť kremičitého častíc
nm
35 ± 5
45 ± 5
65 ± 5
75 ± 5
85 ± 5
100 ± 5
120 ± 5
Distribúcia veľkosti nanočastíc (PDI)
1 <0,15
<0,15
<0,15
<0,15
<0,15
<0,15
<0,15
Riešenie pH
1 7.2-7.4
7.2-7.4
7.2-7.4
7.2-7.4
7.2-7.4
7.2-7.4
7.2-7.4
Solídny obsah
% 20,5 ± 0,5
20,5 ± 0,5
20,5 ± 0,5
20,5 ± 0,5
20,5 ± 0,5
20,5 ± 0,5
20,5 ± 0,5
Vzhľad
-
Svetlo modrý
Modrý
Biely
Šedobiely
Šedobiely
Šedobiely
Šedobiely
Morfológia častíc x
X : S- ferický ; B- zakrivené ; P- arašid v tvare ; T-cibuľové ; C-reťazec podobné (agregovaný stav)
Stabilizačný ión
Organické / anorganické amíny
Zloženie surovín y
A : m-tmos ; e-you ; me-tamos+teos ; em-ezos+tMOS
Obsah nečistoty kovu
≤ 300 ppb


Aplikácie produktu CMP leštiaceho kalu :


● Integrované obvodné materiály CMP

● Integrované obvodné poly-si materiály CMP

● Polovodičové monokryštalické kremíkové materiály CMP

● polovodičové kremíkové karbidové materiály CMP

● Integrovaný obvod STI Materials CMP

● Integrovaný kovový a kovový bariérový vrstva materiálov CMP


Hot Tags: Leštiaca kaša CMP
Odoslať dopyt
Kontaktné informácie
Ak máte otázky týkajúce sa povlaku karbidu kremíka, povlaku karbidu tantalu, špeciálneho grafitu alebo cenníka, zanechajte nám svoj e-mail a my sa vám ozveme do 24 hodín.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept