Správy

Quartz Loď je kľúčový komponent zaťaženia používaný v procese výroby polovodičov. Používa sa hlavne na vysokoteplotné spracovanie doštičiek, ako je difúzia, oxidácia a žíhanie. Vďaka vynikajúcej tepelnej stabilite, nízkym charakteristikám znečistenia a odolnosti proti korózii z neho robí nevyhnutný materiál v polovodičovom priemysle. Tento článok bude rozpracovať materiál, fyzikálne vlastnosti, klasifikáciu, aplikačné scenáre Quartz Boat a jeho rozdiely od PECVD Graphitovej lode.

Hlavným materiálom PECVD Graphitovej lode je izotropný grafitový materiál s vysokou čistotou (čistota je zvyčajne ≥ 99,999%), ktorá má vynikajúcu elektrickú vodivosť, tepelnú vodivosť a hustotu. V porovnaní s bežnými grafitovými člnmi majú PECVD grafitové lode mnoho výhod fyzických a chemických vlastností a používajú sa hlavne v polovodičových a fotovoltaických odvetviach, najmä v procesoch PECVD a CVD.

MOCVD grafitové zásobníky hrajú dôležitú úlohu v epitaxiálnom procese. Tento článok podrobne analyzuje výber misky na grafity MOCVD z perspektív materiálových vlastností a scenárov aplikačných scenárov.