SiC Coating Wafer Carrier

Vetek Semiconductor sa špecializuje na výrobu a dodávku vysokovýkonných nosičov doštičiek s povlakom SiC a zaviazal sa poskytovať pokročilé technológie a produktové riešenia pre polovodičový priemysel.

Pri výrobe polovodičov je nosič povlaku SiC spoločnosti Vetek Semiconductor kľúčovou zložkou v zariadeniach na chemické vylučovanie z plynnej fázy (CVD), najmä v zariadeniach na organické chemické vylučovanie z plynnej fázy (MOCVD). Jeho hlavnou úlohou je podporovať a zahrievať monokryštálový substrát tak, aby epitaxná vrstva mohla rásť rovnomerne. To je nevyhnutné pre výrobu vysokokvalitných polovodičových zariadení.

Odolnosť povlaku SiC proti korózii je veľmi dobrá, čo môže účinne chrániť grafitový základ pred korozívnymi plynmi. To je dôležité najmä v prostredí s vysokou teplotou a koróziou. Okrem toho je veľmi vynikajúca aj tepelná vodivosť SiC materiálu, ktorý dokáže rovnomerne viesť teplo a zabezpečiť rovnomerné rozloženie teploty, čím zlepšuje kvalitu rastu epitaxných materiálov.

Povlak SiC si zachováva chemickú stabilitu pri vysokej teplote a korozívnej atmosfére, čím sa predchádza problémom so zlyhaním povlaku. Ešte dôležitejšie je, že koeficient tepelnej rozťažnosti SiC je podobný koeficientu grafitu, čo môže zabrániť problémom s odlupovaním povlaku v dôsledku tepelnej rozťažnosti a kontrakcie a zabezpečiť dlhodobú stabilitu a spoľahlivosť povlaku.

Základné fyzikálne vlastnostiSiC Coating Wafer Carrier:

Výrobný obchod:

Prehľad priemyselného reťazca epitaxie polovodičových čipov: