Grafitový susceptor potiahnutý SiC pre ASM

Všeobecné informácie o produkte

Obchodné podmienky produktu

✔ Aplikácia: Grafitový substrát potiahnutý SiC Veteksemicon je kľúčovým spotrebným materiálom pre epitaxné zariadenia série ASM. Priamo podporuje doštičku a poskytuje rovnomerné a stabilné tepelné pole počas vysokoteplotnej epitaxie, čo z nej robí základnú zložku na zabezpečenie vysokokvalitného rastu pokročilých polovodičových materiálov, ako sú GaN a SiC.

✔ Služby, ktoré je možné poskytnúť: analýza scenára zákazníckej aplikácie, párovanie materiálov, riešenie technických problémov. 

✔ Profil spoločnosti：Veteksemicon má 2 laboratóriá, tím odborníkov s 20-ročnými skúsenosťami s materiálmi, s výskumnými a vývojovými a výrobnými, testovacími a overovacími schopnosťami.

Technické parametre

Veteksemicon SiC potiahnutý grafitový susceptor pre výhody jadra ASM

1. Extrémna čistota a nízka chybovosť

Použitím vysoko čistého špeciálneho grafitového substrátu s jemnými časticami v kombinácii s naším prísne kontrolovaným procesom nanášania chemických pár (CVD) zabezpečujeme, že povlak je hustý, bez dier a nečistôt. To výrazne znižuje riziko kontaminácie časticami počas epitaxného procesu a poskytuje čisté prostredie substrátu pre rast vysokokvalitných epitaxných vrstiev.

2. Vynikajúca odolnosť proti korózii a opotrebeniu

Pyrolytický povlak z karbidu kremíka má extrémne vysokú tvrdosť a chemickú inertnosť, účinne odoláva erózii zdrojov kremíka (ako je SiH4, SiHCl3), zdrojov uhlíka (ako je C3H8) a leptacích plynov (ako je HCl, H2) pri vysokých teplotách. To výrazne predlžuje cyklus údržby základne a znižuje prestoje stroja spôsobené výmenou komponentov.

3. Vynikajúca tepelná rovnomernosť a stabilita

Optimalizovali sme distribúciu tepelného poľa v rozsahu prevádzkových teplôt prostredníctvom presného návrhu štruktúry substrátu a kontroly hrúbky povlaku. To sa priamo premieta do vynikajúcej hrúbky a rovnomernosti odporu v epitaxiálnom plátku, čo prispieva k zlepšeniu výťažnosti výroby čipov.

4. Vynikajúca priľnavosť povlaku

Jedinečná technológia predbežnej úpravy povrchu a gradientového poťahovania umožňujú poťahu z karbidu kremíka vytvoriť silnú spojovaciu vrstvu s grafitovým substrátom, čím účinne predchádza problémom s odlupovaním, odlupovaním alebo praskaním povlaku, ktoré sa môžu vyskytnúť počas dlhodobého tepelného cyklovania.

5. Presná veľkosť a štrukturálna replikácia

Disponujeme vyspelými schopnosťami CNC obrábania a testovania, ktoré nám umožňujú úplne replikovať zložitú geometriu, rozmery dutín a montážne rozhrania pôvodnej základne, čím sa zabezpečí dokonalé prispôsobenie a funkčnosť plug-and-play s platformou zákazníka.

6. Potvrdenie o overení ekologického reťazca

Veteksemicon SiC potiahnutý grafitový susceptor na overenie ekologického reťazca ASM pokrýva suroviny na výrobu, prešiel medzinárodnou štandardnou certifikáciou a má množstvo patentovaných technológií na zabezpečenie jeho spoľahlivosti a udržateľnosti v oblasti polovodičov a nových energetických odvetví.

Ak chcete získať podrobné technické špecifikácie, biele knihy alebo opatrenia na testovanie vzoriek, kontaktujte náš tím technickej podpory a preskúmajte, ako môže Veteksemicon zvýšiť efektivitu vášho procesu.

Hlavné oblasti použitia

Obchod s produktmi Veteksemicon