Priemyselné správy

Výrobky z kremeňa sa široko používajú vo výrobnom procese polovodičov kvôli ich vysokej čistote, vysokej teploty odolnosti a silnej chemickej stability.

Kremíkové karbidové (SIC) rastové pece zohrávajú dôležitú úlohu pri vytváraní vysokovýkonných doštičiek SIC pre polovodičové zariadenia novej generácie. Proces rastúceho vysoko kvalitných kryštálov SIC však predstavuje značné výzvy. Od riadenia extrémnych tepelných gradientov až po zníženie defektov kryštálov, zabezpečenie jednotného rastu a kontroly výrobných nákladov si každý krok vyžaduje pokročilé inžinierske riešenia. Tento článok bude analyzovať technické výzvy rastových pecí SIC Crystal z viacerých perspektív.

Smart Cut je pokročilý proces výroby polovodičov založený na implantácii iónov a odizolovaní doštičiek špeciálne navrhnutých na výrobu ultratenných a vysoko rovnomerných 3C-SIC (kubický kremíkový karbid). Môže prenášať ultra tenké kryštalické materiály z jedného substrátu do druhého, čím prelomí pôvodné fyzické obmedzenia a zmení celý substrátový priemysel.