Správy

Tento článok predstavuje najnovší vývoj v novonavrhnutom horúcostennom CVD reaktore PE1O8 talianskej spoločnosti LPE a jeho schopnosti vykonávať rovnomernú 4H-SiC epitaxiu na 200 mm SiC.

S rastúcim dopytom po materiáloch SIC v elektronickej elektronike, optoelektronike a ďalších oblastiach sa vývoj technológie jednotlivých kryštálových rastlín SIC stane kľúčovou oblasťou vedeckých a technologických inovácií. Ako jadro zariadenia na rast jednotlivých kryštálov SIC bude dizajn tepelného poľa naďalej venovať rozsiahlu pozornosť a hĺbkový výskum.

Očakáva sa, že prostredníctvom neustáleho technologického pokroku a hĺbkového výskumu mechanizmov bude heteroepitaxiálna technológia 3C-SiC hrať dôležitejšiu úlohu v polovodičovom priemysle a bude podporovať vývoj vysoko účinných elektronických zariadení.