Priemyselné správy

V priemysle výroby polovodičov, keď sa veľkosť zariadenia naďalej zmenšuje, technológia depozície tenkých filmových materiálov predstavuje bezprecedentné výzvy. Depozícia atómovej vrstvy (ALD) ako technológia depozície tenkého filmu, ktorá môže dosiahnuť presnú kontrolu na atómovej úrovni, sa stala nevyhnutnou súčasťou výroby polovodičov. Cieľom tohto článku je zaviesť tok procesov a princípy ALD, aby pomohol pochopiť jeho dôležitú úlohu vo výrobe pokročilých čipov.

Je ideálny na zostavenie integrovaných obvodov alebo polovodičových zariadení na perfektnej kryštalickej základnej vrstve. Cieľom procesu epitaxie (EPI) v polovodičovej výrobe je uložiť jemnú jednorazovú vrstvu, zvyčajne asi 0,5 až 20 mikrónov, na jednostupňovom substráte. Proces epitaxie je dôležitým krokom pri výrobe polovodičových zariadení, najmä v výrobe kremíkových doštičiek.

Hlavný rozdiel medzi depozíciou epitaxie a atómovej vrstvy (ALD) spočíva v mechanizmoch rastu filmu a prevádzkovými podmienkami. Epitaxia sa týka procesu pestovania kryštalického tenkého filmu na kryštalickom substráte so špecifickým orientačným vzťahom, ktorý udržiava rovnakú alebo podobnú kryštálovú štruktúru. Naopak, ALD je technika depozície, ktorá zahŕňa vystavenie substrátu rôznym chemickým prekurzorom v sekvencii za vzniku tenkého filmu jednu atómovú vrstvu naraz.